中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9056053 を販売中
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ID: 9056053
ウェーハサイズ: 6"
WCVD System, 6"
Soft version: B4.72
A: W-DEPO
B: X
C: W-DEPO
D: W-DEPO
E: COOLING
F: ORIENT
Buffer: X
Transfer: X
Wide or narrow: narrow
Tilt: not tilt
Robot: HP
Clamp: X
Pumps:
L/L iQDP80
L/L iQDP80
PC iQDP80 + (3) QMB250F
Generators:
A AX1000-3
C AX1000-2
D AX1000-2
Chiller: AMAT-0.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZリアクターは、半導体製造のために設計および構築された汎用性の高い先進的なシステムです。このツールは、化学蒸着(CVD)、物理蒸着(PVD)、エピタキシー、エッチングなど、さまざまなプロセスに使用できます。プロセスパラメータを正確に制御し、デバイスの製造における最高品質と再現性を保証します。AMAT Centura 5200 WxZリアクタは、柔軟性と拡張性を様々なプロセスにカスタマイズ可能なモジュール設計を備えています。直感的なタッチスクリーンヒューマンマシンインターフェイス(HMI)を備えており、複雑なプロセス制御、監視、および診断を可能にします。そのMFC(マスフローコントローラ)は、ガスが最良の結果を得るために必要な正確な流れで供給されることを保証し、温度と圧力を正確に監視してプロセス特性を改善するために制御することができます。これらの機能は、処理パラメータを正確に制御する必要があるユーザーに最適です。APPLIED MATERIALTS Centura 5200 WxZリアクターには、ステンレススチールヘリカルインサートライナーとPTFEトップフタを使用して、優れた熱伝導と安定性を確保する真空チャンバーがあります。低容量の処理チャンバは、よりエネルギー効率の高い設計を提供し、処理時間の短縮と歩留まりの改善に役立ちます。この信頼性の高いチャンバの他の機能には、メンテナンスや部品の交換が容易であるほか、プロセスの一貫性を向上させるための真空ホールド時間が向上しています。Centura 5200 WxZリアクタには、リアルタイムプロセスモニタリング、統合レシピ開発、データ分析の強化などの高度な機能を提供する専用QuartzView™オペレーティングソフトウェアが装備されています。このソフトウェアは、CAD/CAMシステムと組み合わせて、包括的なプロセス制御と最適化に使用できます。さらに、AMAT先端材料分析ツール(MAT)との互換性があり、お客様は半導体業界で最も最新の技術を活用することができます。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura 5200 WxZリアクタは、比類のない柔軟性と互換性を備えた高性能システムです。その高度なHMI、 MFC、温度および圧力制御、低容量チャンバ設計、および特殊なオペレーティングソフトウェアは、半導体プロセス向けの完全なソリューションをお客様に提供します。この信頼性の高い効率的なシステムは、さまざまなアプリケーションに最高品質の結果を提供することを約束します。
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