中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima #9355275 を販売中
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ID: 9355275
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
HDP CVD System, 8"
NBLL Loadlock
HP Buffer robot
Chambers type:
Chamber A: Ultima STD
Chamber B: Ultima TE
Chamber C: Ultima STD
Chamber E: MSC
Chamber F: Orient
Missing parts:
Remote AC Rack
RF Rack
Cable
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima Reactorは、材料科学における研究および産業用途の要求の厳しい要件のために設計された先進的な結晶成長装置です。このシステムは、エピタキシャル成長プロセスからの高い収率でハイエンドの性能を約束し、温度の均一性、優れたサイクル再現性、極めて低い酸素レベルを提供します。Centuraは、制御された窒素ガス供給によって供給される高性能の拡散ポンプのペアによって駆動され、それは前駆体の材料の広い範囲を処理することができます。それは共通の移動の部屋によってリンクされる2つの独立したプロセス部屋から成っています。1つのチャンバーは成長に専念し、もう1つはサンプルのクリーニング、ロード、アンロードに割り当てられます。このトランスファーチャンバーは両者間のバッファとして機能し、チャンバ間のウェーハを安全かつ効率的に伝達することができます。AMAT Centura 5200 Ultimaの各チャンバーには、独自のガスおよび温度制御ユニットが装備されています。それぞれに200Cから1000Cまでの範囲を持つ独自の温度コントローラと、精密な流量制御と独立したガス流量調節のための16個の高精度マスフローコントローラの独立したセットがあります。精密コントローラーを使用することにより、プロセスサイクル全体で流量を調整することができます。Centuraは、タイトな温度均一性ウィンドウを維持することができます。センチュラのハイエンドな性能は、その先進的なデザインによるものです。安全性と信頼性のために、原子炉には冗長シャットダウンマシンが用意されており、予期せぬ事態が発生した場合にはプロセスを一時停止します。このツールは主に真空密封されており、汚染のリスクを低減します。さらに、アセットには自動セットアップ機能があり、プリストアドプロセスプロトコルを可能にします。これは自動化と省力化に役立ちます。Centuraの最高の性能と信頼性により、材料科学における高度な研究および産業用途に最適です。このモデルの性能は、最先端の設計と高度なエンジニアリングによって支えられており、要求の厳しい顧客にとって魅力的な選択肢となっています。
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