中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #9116891 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-Eは、化学蒸着（CVD）や金属化学蒸着（MOCVD）などのエピタキシャルプロセスに使用される高性能、高純度のエピタキシャルリアクターです。この原子炉は、印象的な技術仕様を誇り、最大65nm/分の成長率が可能で、究極のコスト効率を提供します。AMAT Centura 5200 Super-Eエピタキシャルリアクターの設計により、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなどのさまざまな材料を処理するための信頼性が高く効率的なツールとなります。ワンショットスタイルのサセプタリフトを備えており、ダウンタイムを最小限に抑えて最大の歩留まりと品質を実現します。サセプターリフトにより、原子炉の成長帯の均一性が向上します。APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-Eエピタキシャルリアクターは、原子炉内のガス供給の優れた均一性を提供するために配置された一連の水素化ガス注入ポートを備えています。これにより、LEDやフォトニクスからパワーエレクトロニクス、ワイヤレス通信まで、さまざまな用途に対応するあらゆる基板の最高品質の成長が保証されます。Centura 5200 Super-Eエピタキシャルリアクターには、プロセス速度と製品歩留まりを向上させるために設計されたカスタムビルドの高温垂直水晶インジェクタが搭載されており、安全性と信頼性が向上しています。このインジェクタは、高温ガスの正確な配送と制御を可能にし、窒化ケイ素パッシベーションなどの用途に一般的です。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-Eエピタキシャルリアクターは、優れた成長感度のために、レーザーベースの温度検出装置を備えています。独自の温度センシングシステムは、使用されている基板やプロセスパラメータに関係なく、一貫したプロセス結果につながる、一定の成長率を維持するのに役立ちます。エピタキシャルリアクターには超低振動ユニットが内蔵されており、激しい振動の場合でも安定した成長性能を発揮します。発熱量を低減し、基板やウエハの品質を向上させます。AMAT Centura 5200 Super-Eエピタキシャルリアクターは、エピタキシャル成長およびその他の用途向けの汎用性と信頼性の高いツールです。原子炉の印象的な機能は、さまざまな用途に適しており、実験室と生産現場の両方での使用に最適です。高いスループットと低コストにより、品質と効率が最も重要な高度なアプリケーションに最適です。