中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #293659851 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-Eは、半導体製造プロセスでウェーハなどの基板上に薄膜を形成するために使用されるプラズマ強化化学蒸着（PECVD）リアクターの一種です。AMAT Centura 5200 Super-Eリアクターは、高いスループット、優れた均一性、正確な制御、および低コストを特徴とし、プロセス時間の短縮と品質の向上を目指すメーカーに人気のある選択肢となっています。アプライドマテリアルズCentura 5200 Super-Eは、リモートプラズマ源を使用した荷電粒子のプラズマを最初に生成します。このプラズマは原子炉の反応室に引き込まれ、同時に導入された化学前駆体と相互作用します。前駆体は反応して望ましい薄膜を作り、プラズマがチャンバーを通して描画されるにつれてゆっくりと基板に堆積します。Centura 5200 Super-Eリアクターは、多くの類似したPECVDシステムよりも高い柔軟性を提供します。これにより、ユーザーはいくつかの異なるプラズマ源と、前駆体の異なる化学物質を選択できるようになります。これにより、超薄型トランジスタ用のポリシリコンや、回路の絶縁および保護に使用されるさまざまな誘電膜など、幅広い加工可能な材料が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-Eリアクターは、プラズマ共鳴結合技術「Planar」を採用しています。このシステムでは、ウェーハまたは基板の表面全体にわたって均一なRF電力分布を使用して、プラズマをチャンバー内に維持し、プロセス中の材料のより均一な堆積をもたらします。さらに、AMAT Centura 5200 Super-Eもスループットとプロセス効率を向上させるように設計されています。シーケンシャルシャワーヘッドウエハーを使用しており、最大25個のアイテムを保持することができ、ウェハーの高速ロードとアンロードが可能です。これにより、堆積物の品質を損なうことなく、全体的なプロセスをスピードアップします。APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-Eは、高いスループット、優れた均一性、プロセス効率、および幅広い加工可能な材料により、半導体製造に最適です。また、信頼性が高く費用対効果が高いため、タイトな予算に最適です。