中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF #9146382 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF （High Temperature Furnace）は、850°Cまでの高周波アプリケーション向けに開発された汎用性の高い熱処理ツールで、広範なポスト金属化アニーリング、ドーパント活性化、ポリシリコン再結晶化に適します。5200 HTFは、一貫した長期的な熱処理を促進するために、設計に多くの機能を提供します。ユニークな楕円形の設計は、水平および垂直の温度フィールド分布で構成され、温度の均一性の問題を最小限に抑えます。デュアルソース、デュアル周波誘導加熱で設計されており、低消費電力、一貫した電力レベルで高効率を提供します。さらに、高出力の2段式水冷装置は、プロセス温度を効果的に維持し、プロセス生成された粒子状汚染を最小限に抑えるように設計されています。包括的なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）システムは、信頼性の高い再現可能なプロセス制御をサポートします。過熱連結回路、水流モニタリング、サーマルイメージングなどの安全機能を備えています。さらに、PLCユニットは多数の処理レシピを保存するように設計されており、複数のプロセスを迅速に連続して実行することができます。このマシンのクリーンルーム対応設計は、パージガスを必要としない密閉チャンバーと、フィルタクリーニングを改善するためのCFCフリー冷媒を備えたデュアルリカバリツールを備えています。また、汚染のない環境のためにAMAT Ultrapure™クリーニングアセットと統合されています。5200 HTFは、研究開発や高品質の電子デバイスの大量、産業規模の生産のための理想的な熱処理ツールです。その高度な機能により、優れた温度均一性と制御が可能になり、信頼性の高い再現可能な熱処理と優れた製品品質を実現します。