中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9255226 を販売中

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ID: 9255226
System (2) Chambers, 8" Platform type: Centura 5200-I, 8" Loadlock: Narrow body Robot: HP+ Position A: Chamber A DxZ PE-TEOS Position B: Chamber B DxZ PE-TEOS Position E: Multi slot cool down Chamber clean: RF Clean Gas panel: GPLIS RF Generator: ADVANCED ENERGY RFG 2000-2V Line frequency: 50/60 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZは、化学産業における幅広い用途向けの高品質で高性能な原子炉です。その独特な設計および調節可能な変数は他の同じようなシステムより大きい精密および制御を可能にします。AMAT Centura 5200 DxZには50cmプロセスチャンバーがあり、エッチング、成膜、サイクリング、クリーニングなどの幅広い化学プロセスを可能にします。チャンバーはニクロムシールで密閉され、最大850°Cの温度で動作可能です。堅牢な容器、回転バブラー、静止パージングラインを内蔵したチャンバー独自の設計により、反応プロセス中の精度と制御を向上させます。このシステムには、圧力、温度、およびリアクタントの流れなどの原子炉のパラメータを監視および制御するために使用されるコンピュータ制御インターフェースが含まれています。また、完成した反応に関するフィードバックを提供し、他の同様のシステムよりも高い精度と制御を可能にします。APPLIED MATERIALTS Centura 5200 DxZは、ステンレス製ボディとヘリウムシール式の排気システムで構成され、信頼性の高い性能と耐久性を実現しています。また、システムの安全で安全な動作のための高効率の正圧バルブ、ならびに反応を開始し完了するために必要な時間を短縮するのに役立つ便利な固定パージングラインを備えています。この原子炉は、セルフクリーニング、プラズマエッチング(SiO2または酸化物除去)、その他のプロセスなど、多くの産業での使用に適しています。そのコンピュータ制御インターフェース、調整可能なパラメータ、および耐久性のある構造により、多くの化学アプリケーションにとって信頼性が高く費用対効果の高い選択肢となります。
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