中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9200050 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZリアクターは、マイクロエレクトロニクス業界で使用される最先端のエッチングおよび蒸着装置です。AMAT Centura 5200 DxZは、高度なエッチングおよび成膜アプリケーションに使用するように設計された自動パラレルプレートリアクターです。それはプロセスパラメータの非常に堅い制御と高度なプロセス制御を提供します。応用材料Centura 5200 DxZの原子炉に1100°Cまで熱することができるステンレス鋼から成っているプロセス部屋があります。これにより、高温処理と低温処理の両方が可能です。このシステムはまた、プロセスの安定性と再現性を向上させるための高真空ロックを備えています。Centura 5200 DxZリアクタは、最大直径8インチのウェーハに対応でき、反応スパッタリング、アニール、高温エッチング、原子層成膜（ALD）など、さまざまな加工技術を提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZリアクターは、従来の蒸着およびエッチングシステムよりもいくつかの利点を提供します。統合されたプロセス制御ユニットにより、基板温度と加工条件を正確に制御し、偏差を最小限に抑えて一貫した結果を保証します。さらに、原子炉は高速サイクルタイムを提供し、高スループットのアプリケーションを実現します。また、リモートモニタリングマシンを備えており、リアルタイムの監視と調整を可能にし、エンジニアは現場にいなくてもプロセスを分析および調整することができます。AMAT Centura 5200 DxZリアクターは、マイクロエレクトロニクス業界の需要の増大に対応するように設計されており、高度なエッチングおよび成膜アプリケーションに最適です。最小限のバリエーションで堅牢で信頼性の高い処理機能を提供し、ユーザーはプロセスからより良い歩留まりとスループットを得ることができます。また、モジュラーコンポーネントはアップグレード性と拡張性を備えており、ユーザーはニーズの変化に応じて簡単にコンポーネントを追加またはアップグレードすることができます。