中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9122814 を販売中

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ID: 9122814
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Poly silicon etch system, 8" (2) Chambers Position A: DPS Poly R1 Position B: DPS Poly R1 Position F: Orientor Narrow body load locks HP Robot Generator rack NBLL's System controller 1997 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALIES Centura 5200 DPSは、トランジスタ、チップ、その他の電子部品などの半導体デバイスを作成および彫刻するために設計された大規模な製造炉です。原子炉は、石英チャンバー、ガス供給装置、プロセス制御システムの3つのコンポーネントで構成されています。石英チャンバーは石英でできた円筒形のチャンバーで、シリカベースの天然素材です。チャンバーは、製造プロセス中にウェーハとガスを保持するためのポートの配列で設計されています。ポート、ガス、およびウェーハの配置を通じて、メーカーはチャンバー内のさまざまな製品を作成することができます。汚染を防ぐために、水晶チャンバーは真空密封され、不要な粒子の存在を減らすために加熱されます。ガス供給ユニットはAMAT Centura 5200 DPSの2番目のコンポーネントです。この機械は、製造業者が正確な量のガスを供給することにより、チャンバー内で異なる反応を作成することができます。ガス供給ツールは、資産のプロセス制御ソフトウェアによって監視される一連のガス流量コントローラ、バルブ、および配管を利用しています。原子炉内に排出されるガスの量を正確に測定することで、反応の種類を変更することができます。アプライドマテリアルズCentura 5200 DPSの最終コンポーネントは、プロセス制御モデルです。これにより、製造プロセス全体が最初から最後まで制御されます。ガスフロー、チャンバー温度、電源入力、チャンバー圧力を制御します。また、抵抗、ブレークダウン電圧、モビリティなどの重要なパラメータも監視します。工程管理装置は、所定の制限に達した場合に製造者に警告する責任も負います。Centura 5200 DPSリアクターは、さまざまな半導体デバイスを操作して彫刻することができる非常に強力な製造ツールです。石英チャンバー、ガス供給システム、プロセス制御ユニットの高度な機能により、原子炉は複雑な電子部品を正確に製造することができます。
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