中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9093316 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH
ID: 9093316
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CVD System, 8" Process: PO Nit Dep 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLHは、研究開発ラボ向けに設計された高度な原子炉です。この強力で汎用性の高い機械は、さまざまなプロセス化学を実行することができ、半導体加工やナノテクノロジー製造などの研究開発アプリケーションで使用するために設計されています。AMAT Centura 5200 DLHは、高度な垂直および水平反応チャンバー、高速ガス配送用のマルチフレックスガス装置、および安心の遠隔操作のためのプログラム可能なSafeDetectエアロックシステムなど、優れた原子炉となる多くの機能を備えています。さらに、APPLIED MATERIALTS Centura 5200 DLHはさまざまなレベルのオートメーションで構成でき、ユーザーは特定の要件に合わせてマシンをカスタマイズできます。Centura 5200 DLHの一次反応チャンバーは直径250mmで、最高温度は800°C、最大圧力は70 barを備えています。反応チャンバーには、さまざまなガスライン、サンプルポート、圧力および温度センサー、ならびに反応サンプリングライン、データ収集システム、マスフローコントローラなどのさまざまなカスタムアクセサリが含まれています。反応チャンバーは腐食性化学物質も可能で、不活性パージ/ベント機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLHには8位置サンプルフォーマーがあり、反応室で分析する前にサンプルを調製することができます。サンプル前者には、希望する温度で最適な性能を確保するために、さまざまな電気特性と熱特性を備えたさまざまな特別設計のプラテンが含まれています。AMAT Centura 5200 DLHにはリモートモニタリングユニットも含まれており、ユーザーはラボ外からの反応プロセスを監視できます。リアクターの位置の測定は、機械のDeltaVisionツールによって処理され、機械の正確な位置に対するリアルタイムのフィードバックを提供します。これにより、プロセス全体を正確に制御できます。応用材料Centura 5200 DLHには、クリーンで強力な無線周波数を提供する高度なRFジェネレータもあります。この機能は、単一またはデュアル周波数の操作のために設定でき、ユーザーは反応パラメータを完全に制御できます。最後に、Centura 5200 DLHは、ユーザーがプロセスを自動化し、プロセス全体を追跡できるオプションのソフトウェアパッケージも備えています。このソフトウェアパッケージには、高度にカスタマイズ可能なインターフェース、強力な制御機能、詳細な分析およびレポートツールが含まれ、自動化されたオペレーティングシーケンスの構築に使用できます。これにより、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLHは研究開発用途に最適な原子炉となります。
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