中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #293820596 を販売中

AMAT Centura 4。0リアクターは、幅広い材料を処理するために設計された最先端のハイスループット蒸着機です。この原子炉は、半導体集積回路やオプトエレクトロニクス部品などの複雑なデバイスの高速で効率的で費用対効果の高い製造を可能にするように設計されています。Centura 4。0は完全に自動化されたプロセス制御装置で構成されており、オペレータはウェーハ処理を継続的に監視し、ダウンタイムを削減できます。チャンバーフラグ機能を使用すると、ノートパソコンまたは遠隔地からイーサネット接続を介して設定をリモートで調整できます。温度調節器は200°Cから400°Cの範囲の温度の調節可能性を可能にします、沈殿の特徴は各々の処理実行のための望ましい結果に合わせることを可能にします。基板表面温度（Tm）を低減するための基板冷却も可能です。Centura 4。0リアクタのロードロックシステムは、プロセスチャンバーを自動的に排出し、プロセスサイクル中にリアクター室内のクリーンな環境を維持し、ウェーハからウェーハへの一貫したフィルム蒸着を保証します。カスタマイズされたガス箱の構成はまたガスの流れの最適化および均一なガス配分を促進するために利用できます。さらに、リフレクトメーターや水晶振動子モニタリングなどの現場監視ツールをフルに活用し、オペレーターはリアルタイムでプロセス状況を監視できます。この原子炉には、生産プロセスにおけるエピタキシャル成長の前例のない制御を提供するポリマー成長蒸着（PGD）機能が装備されています。特殊な蒸着源とパルス基板パルスを組み合わせた作用により、他の加工方法では実現できないフィルム特性が得られます。また、Centura 4。0には、パーティクルコントロールユニットが内蔵されています。この機械は沈殿の間にプロセス安定性を検出し、保障できます。全体として、APPLIED MATERIALS Centura 4。0リアクターは、生産コストを最小限に抑え、生産能力を最大化するために設計された次世代マシンです。高度なプロセス制御と成膜プロセス能力を備えたこのマシンは、ハイスループット成膜およびデバイス製造に最適なツールです。