中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina #9282094 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Carinaは、急速熱処理（RTP）技術と化学蒸着（CVD）技術を組み合わせた先進のマルチステーション原子炉です。この革新的な組み合わせにより、ユーザーは高性能材料の製造に時間とコストを節約できます。AMAT Carinaリアクターは、他のツールでは実現できない結果をもたらす材料プロセス工学の大きな進歩を表しています。APPLIED MATERIALTS Carinaリアクターは、動的で柔軟性のあるシステムアーキテクチャを備えており、幅広いアプリケーションニーズに対応する複数の処理ステーションの組み合わせを構成できます。ルーチンRTPやCVDプロセスから、複数のプロセスで複数のガス種との沈着など、より複雑なプロセスに至るまでの実験のためのソリューションを提供します。この柔軟性により、材料アプリケーションのより効率的な開発が可能になります。さらに、Carina原子炉はオープンプロセッシングチャンバーアーキテクチャを持っています。これにより、簡単なレシピスクリプティングと効果的なプロセス統合が可能になり、高品質の結果が得られます。また、高速交換可能なシングルウェーハカセットを備えており、真空や技術的な高度なRTPヒーター構成を破壊することなく、迅速なウェーハ移動を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Carinaリアクターは、研究開発、試作、小規模生産などの材料加工ニーズに最適です。それは精密な温度およびプロセス制御に使用することができるさまざまな高度のプロセス制御機能を提供します。これらの機能により、研究者は所望の材料特性を迅速かつ正確に生成するプロセスを微調整することができます。さらに、AMAT Carinaリアクターは、プロセスの安定性を向上させ、プロセス特性を改善するためのさまざまな診断をユーザーに提供します。この原子炉には、パイロメータ、ガス流量計、ソフトフレームセンサーなど、さまざまな監視および診断システムが含まれています。応用材料Carinaの原子炉は信頼でき、反復可能な操作のために設計され、耐久性および長寿命を提供する標準的な材料から組み立てられます。この高度な原子炉は超高真空プロセスに適しており、柔軟性と信頼性を高めるために追加のソフトウェアツールと組み合わせることができます。様々な構成と最先端の機能を備えたCarinaリアクターは、先進的な材料加工ニーズに最適です。