中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina #9240272 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALIES Carinaリアクターは、半導体製造に使用するために設計された先進的な蒸着装置です。このシステムは、物理蒸着（PVD）および化学蒸着（CVD）技術を使用して、基板上の膜を精密かつ繊細に堆積させます。AMAT Carinaリアクターは、スループット、均一性、および全体的な性能の面で利点を提供し、幅広い製造アプリケーションに最適です。このユニットは、高効率のモジュラー2部構造の蒸着チャンバを採用しており、PVDとCVDの両方のプロセスが単一の蒸着ステップで発生することができます。底部は蒸着チャンバーとして知られており、原料、基板、ターゲット材料が含まれていますが、上部は真空容器で構成されています。蒸着チャンバーには、イオンシャワー室、スパッタリング源、電子ビーム源の3つの源が装備されており、電源によって個別に駆動することができます。このマシンはまた、CVD処理用のクローズドセルソース構成と、不活性ガス供給用のガスマニホールドを備えています。蒸着チャンバは、振動絶縁型の空冷リフトプラットフォームに取り付けまたは取り付けられているため、基板の迅速かつ容易な積み下ろしが可能です。また、調節可能な基板ヒーターを備えており、正確で高品質な結果を得るための調節可能な温度制御を提供します。APPLIED MATERIALTS Carinaリアクターはまた、蒸着プロセスに精密で安定した環境を提供する洗練された真空ツールを備えています。低圧環境を維持するように設計されており、プロセス中にチャンバー圧力と基板温度を監視および調整するための圧力安全弁とセンサーを備えています。このアセットには、蒸着中の監視とリアルタイム制御を容易にするさまざまなコントローラとセンサーが付属しています。また、高度な診断とフィードバックアルゴリズムを使用して設計されており、プロセスの品質と一貫性を保証します。全体として、Carinaは高精度の蒸着モデルであり、複雑な半導体製造プロセスにおいて究極の性能とスループットを提供します。その高度な機能により、非常に精密で均一な結果を要求する半導体製造アプリケーションに最適です。