中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina Mesa #9251127 を販売中
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ID: 9251127
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
Chamber B
Axiom chamber D
AC Rack
Accessories included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Mesaリアクターは、幅広い表面に高品質の薄膜成膜を可能にするように設計された完全自動成膜装置です。AMAT Carina Mesaは、2ゾーン、高効率、またはHIEEP、原子炉、CVDプロセスのハイブリッドタイプです。このシステムは、1000Cまでの温度で金属、酸化物、窒化物などの様々な材料を堆積することができます。この2ゾーン設計は、ユニットをシャットダウンする必要なく、最初のゾーンに新しいリアクタントを導入できるため、効率を最大限に高めるのに役立ちます。応用材料Carina Mesaリアクターは連続的に動作することができます。つまり、機械が稼働している間にリアタントをロードおよびアンロードすることができ、スループットの向上とプロセスの安定性の向上を可能にします。Carina Mesaリアクターには、温度監視、圧力監視、反応性ガス流量制御、自動レシピ制御など、さまざまな高度なプロセス制御が装備されています。このツールでは、RIE/ICPエッチングやin-situシート抵抗測定などの高度なプロセス診断も利用できます。これにより、プロセスの最適化と再現性が向上します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Carina Mesa原子炉には、温度、圧力、ガスの流れ、およびその他の多くの要因を監視する機能など、多くの安全機能が装備されています。アセットには、緊急シャットオフスイッチと、危険な状況の場合の迅速な反応のためのアラームが付属しています。全体として、AMAT Carina Mesaは最先端の蒸着炉であり、優れた再現性を備えた高品質の薄膜を正確な温度で堆積させることができます。その2ゾーン設計とオートメーション機能により、高スループットと最適なプロセス安定性が保証され、高度なプロセス制御と安全機能により、このモデルは堆積作業に最適です。
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