中古 AMAT / APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE #293631717 を販売中

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リアクター
製造業者
AMAT / APPLIED MATERIALS
モデル
BPSG Chamber for Producer SE
ID: 293631717
ヴィンテージ: 2004
MKS Astron EX RPS CLS208 Watlow controller ALN Ceramic heater 1-1/8 C-Seal surface mount gas panel 0195-01042 AC Box 1080-00126 Heater lift driver 0190-13840 Pin lift driver Manometer: 20T / 1000T Pressure switch: 10 Torr MKS 683B-31931 Throttle valve NC 021010-1 ISO Valve Process kit: Top liner Middle liner Bottom liner Pumping ring Lift hoop Gas panel: Gas line / Gas / Size / MFC / Valve 1 / O3 / - / - / - 2 / O3 / - / - / Hamlet 3 / O2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 7 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 8 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 9 / HE / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 10 / N2-Purge / - / - / Hamlet 11 / N2-Purge / - / - / Hamlet 12 / NF3 / 5000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet 13 / HE / 5000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 14 / AR / 15000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet Liquid 1 / - / - / - / TEPO Liquid 2 / - / - / - / TEOS Liquid 3 / - / - / - / TEPO 2004 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SEは、半導体製造プロセスにおけるホウリン酸ガラス（BPSG）薄膜の蒸着用に設計された高性能リアクタシステムです。このチャンバーはAMAT Producer SEプラットフォームの重要なコンポーネントであり、半導体業界で幅広い用途に使用されている薄膜成膜アプリケーションのためのシステムです。BPSGチャンバーは、化学前駆体とプロセスパラメータのユニークな組み合わせを使用して、優れた均一性、純度、およびフィルム品質でBPSGフィルムを堆積させます。BPSGフィルムは、半導体デバイスの絶縁層として一般的に使用され、デバイスの異なる層の間に電気的絶縁を提供し、その後の処理ステップのためにデバイス表面を平面化します。チャンバーには、ガス流量、温度、圧力、およびプラズマパラメータの正確な制御を含む高度なプロセス制御機能が装備されており、蒸着プロセスを厳密に制御し、所望のフィルム特性を達成します。また、Producer SEプラットフォームとの高度な自動化と統合により、シームレスな運用と効率的な生産ワークフローを実現します。APPLIED MATERIALTS BPSG Chamberの主な利点の1つは、高いフィルム密度、低い不純物レベル、および複雑なデバイス構造に優れたステップカバレッジを持つBPSG膜を堆積する能力です。これは、集積回路、メモリデバイス、センサなどの要求の厳しいアプリケーションにおける半導体デバイスの信頼性と性能を確保するために不可欠です。このチャンバーはモジュラーアーキテクチャで設計されており、メンテナンス、保守、アップグレードが容易で、進化するプロセス要件を満たすことができます。ガスモニタリングやインターロックシステムなど、最先端の安全機能を備えており、安全な運転を確保し、クリーンルーム環境での事故リスクを最小限に抑えます。AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamberは、エネルギー効率の高いコンポーネント、廃棄物の最小化戦略、および環境規制の遵守を念頭に置いて設計されています。これは、環境フットプリントの削減とグリーン製造慣行の採用に対する半導体業界のコミットメントと一致します。要約すると、AMAT BPSG Chamber for Producer SEは、半導体製造におけるBPSG膜の堆積のための高度で信頼性の高い原子炉システムです。最先端の技術、プロセス制御機能、オートメーション機能により、デバイス用の高性能BPSGフィルムの実現を目指す半導体メーカーにとって理想的な選択肢となります。
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