中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL #9313565 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CLは、超薄膜の成膜やエッチングなど、多種多様な成膜プロセスに最適な反応チャンバー装置です。このシステムは、半導体製造、MEMS/MOEMS、 LED、 OLED、太陽電池製造などの用途向けに、半導体基板の超薄膜の製造に使用するために設計されています。AxZチャンバーユニットは、本体とEndura CLモジュールの2つのコンポーネントで構成されています。AxZチャンバーの本体はステンレス製で、最大限の構造整合性と信頼性の高い動作を提供するように設計されています。ウェーハ表面全体に均一な成膜を実現するために、局所成膜の不均一性を最小限に抑える革新的な設計を特徴としています。Endura CLモジュールは、Eチャンバー、中央予熱ユニット、排気スタックで構成されています。E-Chamberは、フライドチャンバー、プロセスガスインレット、ウェーハリフトピンで構成されています。予熱ユニットは、水晶チューブヒーター、赤外線ランプ、熱電対で構成されており、プロセスの汚染を防ぐためにEチャンバーから熱的に隔離されています。排気スタックは、エッチングまたは蒸着プロセス中に生成された危険または危険な物質を迅速に排出するように設計されています。AxZ Chamber for Endura CLは、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、電気化学蒸着（ECD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの幅広い蒸着プロセスに最適です。このマシンは、最大直径8インチのウェーハに対応でき、シリコーン、チタン、アルミニウムなどの基板を処理することができます。また、操作中の安全性を高めるための高い封じ込めレベル（HCL）機能も備えています。さらに、AxZ Chamber for Endura CLは手動モードと自動モードの両方で動作するため、生産ラインの製造に最適です。要約すると、AMAT AxZ Chambers for Endura CLは、信頼性の高い性能と正確なウェーハ処理を実現するために設計された非常に汎用性の高い反応チャンバーツールです。堅牢なステンレススチール製の本体とモジュール式のEndura CLモジュールを搭載し、機能性を高め、幅広いウエハータイプに対応できます。さらに、様々な蒸着プロセスに対応しており、手動モードと自動モードの両方で作業できます。AxZチャンバfor Endura CLは、半導体製造、MEMS/MOEMS、およびその他の関連アプリケーションに最適です。