中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ASP Chamber for P5000 #293642390 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS ASP Chamberは、ナノメートルスケールの材料処理に使用される最先端の原子炉です。この原子炉は、プラズマベースのエッチングと高度な基板処理（ASP）という2つの主要な技術を組み合わせています。プラズマベースのエッチングは、ナノメートルスケールで材料の洗浄、表面処理、エッチングに使用されます。エッチングのためのプラズマ源は、広範囲の材料にわたって高い選択性と異方性を持つエッチングを可能にする独自のデュアル周波数マグネトロン源によって提供されます。このエッチングは、誘導結合プラズマ源、遠隔HF発生器、および高密度源によってさらに強化されています。さらに、エッチング機能は、迅速かつ均一な温度制御を提供するin-situ基板加熱オプションによって補完され、均一なエッチング速度と優れた制御を可能にします。AMAT ASP Chamberの2番目のコンポーネントは、Advanced Substrate Processing （ASP）技術です。この技術は、化学成膜や原子層成膜（ALD）などのユニークな機能を提供します。ASPは、高度なプロセスガスのセット、独自のLangmuir-Blodgettプラットフォーム、および統合された質量分析によって化学蒸着を提供します。このプロセスガスは、ナノメートルスケールのレベルで膜厚と均一性を正確に制御することができます。アプライドマテリアルズASPチャンバーのALD機能は、Massively Parallel ALD Source （MPALS）によって有効になります。このソースは、高精度な堆積のための機能を提供します、優れたエネルギーと大きな基板領域に均一な膜の堆積のためのフラックス制御と。さらに、ALDプロセスは、正確な組成制御、優れた熱絶縁、および均一なフィルム密度を提供する統合温度サイクルランプによってさらに有効になります。結論として、ASP Chamberは、最先端のナノスケール用途の要件を満たすために、製造、加工、および成膜のための強力なツールとして機能します。この原子炉は、エッチングパラメータの精密制御と、独自のナノスケール処理要件のための化学および原子層の堆積を提供します。
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