中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9269434 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100は、広く使用されている化学蒸着（CVD）炉で、様々な薄膜材料の蒸着に適しています。これは、幅広い成長条件にわたって高性能で費用対効果の高い堆積を提供します。原子炉は最高温度2000°C、最高5000 Wまでの素晴らしいパワーレベルを持ち、最大2200平方インチの基板を処理できます。安全機能が統合されており、手動またはプログラムで操作できます。AMAT AMS 2100は、大面積の基板の表面全体に均一な蒸着を提供するように設計されています。構成に応じて4から10までの可変ゾーンを備えたマルチゾーン加熱プラットフォームを備えており、直径12インチまたは最大2200平方インチの基板に対応できます。それは速い基質の処理のための縦のサセプター上昇と来、異なった沈殿の適用のための窒素、アルゴン、シラン、アンモニアおよび他のプロセスガスを供給することができます。この原子炉は、2ポンプの優れたターボ分子真空装置を採用しており、拡散ポンプを使用した場合の最大塩基圧力は3x10-7 Torrであり、優れたプロセス制御と均一性を提供します。ゾーニングされたポンプ形状と独自のガス流路設計により、ガス相の滞留時間を最小限に抑え、ガス使用量を節約します。この原子炉には、高度な温度コントローラと温度、圧力、熱応力、およびガスの過圧のための専用の安全システムが付属しています。APPLIED MATERIALS AMS 2100は、より安全な運用とメンテナンスのためにも設計されて。安全を確保するための統合安全システムとプログラムされた安全プロトコルが付属しています。原子炉のコントロールパネルは、成長パラメータの設定、プロセス条件の監視、システムのシャットダウンなど、手動操作に使用できます。また、プロセスコントロールユニットを備えており、連続的で無人の成長を可能にします。AMS 2100 CVDリアクターを様々な用途に適した優れた特性を持つフィルム成膜用の汎用性と信頼性の高い機械にするために設計された、その他のさまざまな機能とオプションがあります。