中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9068943 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100原子炉装置は、半導体製造プロセスで使用するために設計されており、金属、誘電体、およびIII-V半導体材料に高度な堆積能力を提供します。それは3つの主要な部品から成っています：プロセス部屋、ガス配達システム（GDS）およびコントローラー。プロセスチャンバー：プロセスチャンバーは、半導体基板およびウェーハの製造に必要な圧力、温度、およびガス条件を作成するように設計されています。これは、カバーの必要性を排除し、チャンバーの中心にプロセスガスの直接配達を可能にする斬新な中断のない設計を特徴としています。このチャンバーは、複数のソース技術（CVD、 PECVD、 PVDなど）とのユニット統合を含む、幅広いプロセス要件に対応する柔軟性を備えて設計されています。部屋は基質の有効な熱伝達そして熱管理を提供する革新的なステンレス鋼およびテフロンの構造から成っています。ガス供給機：GDSはプロセスガスの流れを制御し、高度な制御機能を備えています。これには、ガスの流れ、総流量、圧力の独立した制御が含まれます。また、GDSは他のソースと統合され、さまざまなプロセスツールと互換性があるように設計されています。コントローラー：コントローラーはAMAT AMS 2100ツール全体の統一ビューを提供するように設計されています。アセットの簡単なセットアップと制御を提供する高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）機能が装備されています。コントローラのコントロールパネルから、すべてのパラメータと診断情報にすばやくアクセスできます。ソフトウェアはまた、コンピュータやタブレットからのリモートアクセスとデータ管理を可能にします。全体として、APPLIED MATERIALTS AMS 2100 Reactorは、大規模な半導体製造プロセスで最高レベルの性能と信頼性を満たすように設計されています。これは、プロセスガスの優れた制御と効率的な熱管理を可能にするモデル設計へのユニークで統合されたアプローチを特徴としています。コントローラは、簡単なセットアップと制御のための直感的なユーザーインターフェイスを提供します。これにより、AMS 2100リアクターはあらゆる半導体製造設備に最適です。