中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9024606 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100は、高品質の集積回路を製造するための先進的なプラズマリアクター装置です。このシステムは、ガス、酸素、水素、窒素の組み合わせを使用し、熱的に生成されたプラズマを基板上に材料を堆積させます。AMAT AMS 2100のチャンバーには、高エネルギーのプラズマを生成するための高出力RFジェネレータと、処理中に基板を保持するための機械的ウェハチャックが含まれています。このユニットはまた、処理中に基板ウェーハの温度を制御するための補助電源を備えています。この機械設計は、エッチングと成膜能力のユニークな組み合わせを備えており、最高の歩留まりで可能な限り低コストでデバイスを形成することができます。アプライドマテリアルズAMS 2100のプラズマプロセスは、線幅の狭さと高密度誘電層と低表面粗度で優れたステップカバレッジを提供します。その低温焼きなましの特徴は良質の物質的な付着および優秀な装置性能を保障します。このツールはまた、優れた誘電体の均一性とボトムカバレッジの改善により、高い蒸着率を提供します。このプロセスは、銅、タングステン、アルミニウム金属化だけでなく、誘電体、絶縁、およびポリマーフィルムの堆積にも使用できます。AMS 2100は、温度、圧力、流量制御など、高精度のプロセス制御を提供するための制御機能を備えています。アセットには、特定のアプリケーションに最適化できるユーザー定義パラメータを備えた幅広いプロセスレシピ機能があります。柔軟な制御機能により、最適な結果を得るためのパラメータのリアルタイムチューニングが可能になり、高度な機能により堆積環境の自動最適化が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100は、基板交換を簡素化し、汚染リスクを最小限に抑えます。このモデルはまた、グローブボックスを必要とせずに迅速な試料の積み下ろしと積み下ろしを特徴とし、粒子汚染と環境汚染のリスクを最小限に抑えます。プロセスモニタは、製造中のチャンバー圧力、温度、ガスの流れを監視し、プロセスの完全性と品質を保証するように設計されています。結論として、AMAT AMS 2100は、多種多様な集積回路製品の製造に使用できる先進的で汎用性の高い原子炉装置です。優れたプロセス制御、自動化された最適化機能、シンプルな基板交換を提供します。優れたステップカバレッジと高い蒸着速度機能により、デバイスを迅速かつ高い収率で形成できます。