中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9390648 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821は、薄膜蒸着アプリケーションで使用するためのプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。この装置は、一貫したプロセス開発とプロセス制御システムに基づいて、誘電材料および非誘電体材料の薄膜で基板をコーティングするために設計されています。AMAT AMC 7821は、従来の熱蒸着技術とプロセスの範囲の増加に対する処理制御を向上させます。このシステムは、静電チャック、2つのRFソース、統合ターボポンプ、および全体的な真空フランジパッケージで構成されています。静電気チャックを使用して、加工されたサンプルを所定の位置に保持し、加工領域の正確な制御と基板の形状を可能にします。2つのRFソースを使用して、蒸着プロセスのエネルギーを生成および制御し、プロセス要件に応じてカスタマイズされた条件を可能にします。ターボポンプを内蔵し、薄膜蒸着時の低圧環境を実現し、より高速なポンプダウンサイクルを実現します。FM-7821には、さまざまな温度および制御設定を含む完全なユーザー定義のオートメーションパッケージも装備されています。これにより、精密で再現性のある処理条件が可能になり、堆積プロセス中のエラーのリスクを最小限に抑えます。ユーザー定義のオートメーションパッケージには、チャンバー内のガスの混合、流量、および部分的な圧力などのプロセスガスの制御も含まれています。反応室はアルミニウム上塗を施してあるおよびステンレス鋼と組み立てられ、沈殿プロセスの間の点滅またはアークのチャンスを減らすために最適化された鐘瓶の設計を利用します。この設計の精度により、プロセスのサイクルを高速化し、プロセスの均一性と安定性を向上させ、高品質の薄膜を実現します。応用材料AMC 7821は、コスト効率と環境安全性を向上させるために設計されています。プロセスに必要な材料やガスの量を最小限に抑え、コスト削減と安全性の向上を実現します。このユニットはまた、プラズマ処理に関連する空気中の粒子やその他の潜在的なリスクを監視するためのさまざまな安全センサーを提供しています。要約すると、AMC 7821は汎用性の高いPECVDリアクターであり、さまざまなアプリケーションに優れた精度と再現性を備えた効率的で信頼性の高い薄膜蒸着を提供します。このマシンは、高度なユーザー定義のオートメーションパッケージを使用して正確なプロセス制御を提供し、必要な量のプロセス材料を最小限に抑えて低コストで環境の安全性を提供します。高精度の薄膜成膜に最適なツールです。