中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9390647 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811は、半導体産業に特化して開発された高性能、汎用プラズマ炉です。エッチング、成膜、洗浄など、様々な工程が可能です。7811は、セットアップ時間とコストを最小限に抑えて、精密な結果を提供するように設計されています。このリアクターは、高度な開発ラボと生産環境の両方に適した、連続的なウェーハ処理のための統一されたマシンプラットフォームを提供します。堅牢性と柔軟性を兼ね備えた設計となっており、さまざまなタスクに対応できるように構成されています。この原子炉は4。6m^3のアクティブチャンバー容積を備えているため、1つのバッチで多くのウェーハや基板を処理することができます。また、デュアル周波数RF電極設計を使用して、エッチング結果を最適化し、プラズマセンタのドリフトを低減します。これにより、チャンバー全体にプラズマが均一に分布します。7811はまた、超低フロースイッチング技術と高速チューニング機能を備えた高度なガス供給システムを内蔵しています。これにより、ガスと設定を瞬時に切り替えることができ、処理の柔軟性が向上します。また、精密なプロセス制御と再現性を可能にする高度な自己校正システムを備えています。さらに、このプラズマ炉は優れたメンテナンス能力を提供します。これは、エンドユーザーがアクセス可能なプライマリガスボックスとクイックチェンジガスマニホールドを備えています。また、ユニットの安全で効率的なサービスのためにエアブレークシステムを利用しています。AMAT AMC 7811プラズマ炉は、複雑な研究開発プロセスと生産アプリケーションの両方に適した堅牢で高性能な機械です。要件が絶えず変化している場合でも、さまざまな設定で最高品質の結果を保証するように設計されています。