中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7810 #102168 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7810は、酸化、剥離、エッチングなどのプロセスに使用される産業用リアクターです。この特定のモデルは、永久的または揮発性フォトレジストを含むアプリケーションに最適です。AMAT AMC 7810は0。3m3の製造された容積と400°Cまで温度が可能な部屋を備えています。この部屋はステンレス鋼、KFの部品、電気関係および6 "CFのフランジから組み立てられる部屋のシーリング装置を使用して密封されます。制御された圧力は、機械的または電気的ソリューションを使用して安定化することができます。原子炉には、ガスの流れと真空を維持および制御するために使用される一連のコンポーネントが含まれています。ガスの流れはガス源システムによって管理され、真空は拡散ポンプコントローラによって管理されます。原子炉は通常、コンピュータオートメーションプロセス制御（CAPC）ユニットを介して制御され、PCプログラマブルロジックコントローラステーションに接続することができます。この機械は、温度、圧力、流量などのチャンバの動作パラメータを監視、検出、および復元するように設計されています。APPLIED MATERIALS AMC 7810には、圧力ツール、排気バルブ、真空インターロック、圧力インジケータなど、さまざまな安全機能が搭載されています。この原子炉は、フォトレジスト除去のためのエッチングプロセスを正確かつ正確に制御するように設計されています。低・中ボリューム、プロセスラインエッチング、ウェーハクリーニングに最適化されたソリューションを提供します。また、幅広いプロセスケミストリーで使用することができ、さまざまなエッチングプロセスに柔軟性を提供します。全体として、AMC 7810は高温に達することができ、プロセス・ラインに容易に統合することができる産業等級のエッチングおよびガスの流れの炉です。これは、プロセスをエッチングするための正確な制御を提供します、さまざまなプロセス化学を使用して、サイクル時間を短縮し、プロセス効率を向上させます。