中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #9293631 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPXリアクターは、高い電力レベルで動作温度を実現するウェーハ製造用の業界トップクラスのプロセスツールです。これは、大型チャンバーシステムアプリケーションのピアの中で最も高い性能を持つワット当たり原子炉です。この原子炉はAMAT独自の強化アニール技術と原子層蒸着を組み合わせており、高度な低kおよび多孔質の低K材料のための最高の均一性と蒸着速度でマルチステッププロセスの流れをサポートしています。AMAT AMC 7800 RPXリアクターは、操作とメンテナンスが簡単な汎用性の高いコスト効率の高いツールです。1時間あたり最大80ウェーハのプロセス速度で高いスループットレベルを提供し、プリコンディショニング、低温アニーリング、クリーニング、フィルム成長、エッチング処理用に設計されています。ロードポートは、最大直径12インチ（300mm）のウェーハサイズと最大4mmのウェーハ厚を扱うことができます。プリミキシング機能により、最適な条件で様々な工程の再現性に優れています。環境サステナビリティ機能はAPPLIED MATERIALS Enhanced Source Purge （ESP）によって強化されており、粒子汚染を低減し、より環境に優しいツールのためにプロセスの早期にガスを排出します。また、仮想メンテナンスプログラムを使用して長期的な信頼性と安定性を維持することで、所有コストの削減にも役立ちます。統合されたアクティブコンタミネーションコントロールシステムは、チャンバーの清浄度をリアルタイムで監視し、窒化物の自動洗浄を可能にします。APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPXには、スマートセンシングテクノロジーと高度な計測機能が搭載されており、リアルタイムプロセス分析とスループット向上のための高解像度診断の完全なポートフォリオを提供します。クローズドループ温度制御により、熱環境を最適化し、繊細な材料に対して正確かつ再現可能な熱処理を保証します。AMC 7800 RPXリアクターは、狭い予算と限られた床面積を持つ中小型半導体ファブに最適です。高いスループット、業界をリードするプロセスの均一性、および低コストの所有コストと組み合わせて、その優れた再現性と性能は、生産目的に最適です。