中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC-7700 #293666919 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7700リアクターは、さまざまなウェハエッチング処理に使用されるモジュラー式のコンピュータ化プラズマエッチング装置です。それは、望ましい設計要件に達するために材料層の正確な除去を必要とする電子部品を製造する手頃な価格、信頼性、効率的な手段であるように設計されています。原子炉は、ガラス、金属、セラミックス、プラスチックなどの材料を処理することができます。AMAT AMC-7700には、3相の電源、複数の制御ボード、産業用グレードのRFコンポーネント、および堅牢な圧力および温度制御システムが装備されています。このコンポーネントの組み合わせにより、プラズマパラメータとサイクリング条件を正確に制御し、プロセスの信頼性と歩留まりを向上させることができます。このユニットは、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方のために設計されています。機械の現場監視ツール（ISM）は、負荷ロック可能なガスセルのペアで構成されており、チャンバーの圧力、温度、およびRF周波数を制御できます。ISMにより、チャンバーパラメータをリアルタイムに調整し、最適なエッチング結果を確保できます。これにより、各プロセスのアセットのセットアップとツールに要する時間も短縮されます。ISMは、サンプル領域の状態と構成を検出するためにも使用され、トラブルシューティングとメンテナンスを支援します。APPLIED MATERIALS AMC 7700には、機能駆動のエッチング速度制御、複数のスキャンモード、複数の構成、高度に設定可能なin-situモニタリングモデル、および周期的かつ高速なパルスモードなど、さまざまなサポートコンポーネントも用意されています。この配列の機能により、エッチング処理中の柔軟性が可能になり、プロセス時間を短縮するのに役立ちます。さらに、原子炉は、エッチングプロセスの効率と品質をさらに向上させるために、多くの既存および新しいロボットハンドリングシステムと互換性があります。要約すると、APPLIED MATERIALS AMC-7700は、精密エッチング工程において信頼性が高く、費用対効果の高い装置です。現場監視システム、複数のスキャンモード、機能駆動のエッチング速度制御など、さまざまな機能とコンポーネントは、エッチングプロセスに非常に柔軟性を提供します。この堅牢なユニットは、あらゆる半導体製造設備にとって非常に貴重な資産です。