中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC-7700 #293666918 を販売中

ID: 293666918
ウェーハサイズ: 6"
EPI Reactor, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7700は、先進的な半導体デバイス製造用に設計された産業用リアクター装置です。この汎用性と信頼性の高いシステムは、ウェットエッチングとドライエッチングの両方、ならびに物理的および化学的蒸着プロセスの両方が可能です。また、さまざまな用途や基板に対して複数のウエハサイズに対応できます。AMATのAMC-7700は抵抗力があるステンレス鋼から組み立てられ、屋内で最適条件を維持するために真空堅いドアを組み込みます。このユニットには2つの独立した熱源エンクロージャがあり、最大3つのバルブを備えています。また、最大限の安全性を確保するための遮蔽装置と、ホストシステムに統合できる制御装置を備えています。アプライドマテリアルズAMC 7700は、マイクロ波合成能力の観点から、高出力の2GHz EPR/EDR、マルチビーム、強磁性トンネル型の共振器を搭載しています。また、電気的および熱的疲労に抵抗しながら、反復可能な低圧のin-situプロセスを可能にします。各アプリケーションに最適な性能を確保するために、幅広いアクセサリを実装できます。このツールは、フォトリソグラフィ用ライト、熱処理用基板、水冷アセット、空冷モデルなど、既存のすべてのAMATツールやアクセサリと互換性があるという明確な利点があります。最後に、完全にプログラム可能なAMC-7700コントローラーユニットには、複数のウェハアライニング/センシング、フィードバック制御、複数のプラズマモニタリング、アーク検出、およびローカルのプラズマガス制御など、さまざまなツールが標準装備されています。さらに、このコントローラには、データ分析とアーカイブスイート、便利なプログラムの豊富なライブラリ、リアルタイムの表示とヘルプメニュー、および熱画像解析機能があります。結論として、AMAT AMC 7700は、半導体デバイス製造のための信頼性の高い高度なソリューションを探している人のための優れた選択肢です。強力な合成機能、堅牢な構造、洗練されたコントローラーユニットにより、デバイスアプリケーションをデジタル化してプロセスを最大限に活用することができます。
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