中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ALD Chambers for Endura CL #293663271 を販売中

AMAT Endura CL ALD Reactorは、半導体産業のアプリケーションに最高品質で最も精密な原子層成膜（ALD）を提供するためにカスタマイズされています。このALDチャンバーは、可能な限り効率的で費用対効果の高いように設計されており、信頼性の高い一貫したレイヤーを作成するための理想的な選択肢となる多くの高度な機能を組み込んでいます。Endura CLリアクターは、堆積のための優れた環境を提供する強化された設計を持っています。金メッキインテリアと低距離ポンプ構造により、蒸着スループットが向上し、望ましくない副生成物の反応を低減します。このチャンバーには、プロセス時間、圧力、温度を簡単に監視できる高度なWebベースの制御システムが装備されています。また、フローフィッティング設計はヘリウム、窒素、純水素システムと完全に互換性があり、追加のインフラを必要とせずにさまざまなプロセスで使用できるようにしています。また、大型のパネルビューウィンドウとガスおよび冷却管理用の多数のポートを備えています。Endura CL Reactorは、均一な前駆体の堆積に最適化されており、デバイス性能のためのより高い達成可能な要因を持つ均一なインタフェースを作成します。また、クリーン/ドライプリカーサーパスウェイ、およびクイックチェンジウェーハサポートおよび蒸着ステージも備えています。このチャンバーは、最も困難な基板上でも、優れたステップカバレッジを備えた均一なALDフィルムを一貫して提供するように設計されています。産業機械の一部として、Endura CL Reactorには基板搬送用の偽床チャンバーと絶縁チャンバーが装備されています。これらは、チャンバーにクリーンで干渉のない環境を提供し、基板の汚染を防ぎます。さらに、このマシンはまた、プロセス温度を正確に制御することができ、それによってALDプロセスの精度を維持するのに役立ちます埋め込み基板ヒーターを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS ALD Chamber for Endura CLは、市場で最も先進的なALDシステムの1つです。このように、半導体業界で使用するために異なるレイヤーを作成するときに最高の品質と精度を提供します。高度な設計と機能の強化により、このALDチャンバーは均一で一貫したALDフィルム蒸着に最適化されています。