中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT AKT-4300 #293672407 を販売中

ID: 293672407
PECVD Systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-4300は、様々な産業で使用するために設計された高度な原子炉です。多目的物理蒸着(PVD)原子炉であり、幅広い材料を処理することができます。AKT AKT-4300は、高い信頼性と効率性を実現するように設計されています。AMAT AKT-4300は、スパッタタイプの誘導結合プラズマ(ICP)源を使用して、クリーンで精密な膜成膜を構築します。このタイプのソースは、微細構造損傷を最小限に抑えた品質の薄膜を製造するために、高い蒸着速度と均一なフィールド分布を提供するように特別に設計されています。スパッタ源は超低損失出力段によって駆動され、パフォーマンスと効率が向上します。その後、出力ステージは高度なマイクロプロセッサによってデジタル制御され、蒸着プロセスの正確な制御と再現性が得られます。AKT-4300のチャンバーは、洗浄とメンテナンスを容易にするために、電気研磨されたステンレス鋼から構成されています。それは部屋に材料を均一にそして繰り返し注入するために2つの側面腕の空気の送り装置と合います。さらに、高性能真空装置と最新の冷却システムを備えており、効率的な加熱と冷却速度を確保しています。APPLIED MATERIALS AKT-4300は、反応スパッタリング、シーケンシャルスパッタリング、コスパッタリング、イオンアシスト成膜など、さまざまな成膜技術を実行することもできます。これにより、半導体、オプトエレクトロニクス、薄膜トランジスタ、薄膜太陽電池製造など、さまざまな用途に理想的な原子炉となります。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-4300は、安全性と人員の安全を確保するために、さまざまな安全性と監視機能を備えて設計されています。このチャンバーには、圧力に敏感なインターロックが取り付けられており、プラズマが警告なしに噴出するのを防ぎます。高度な診断ツールは、チャンバー汚染物質を監視し、危険な状況で視覚的および聴覚的なアラームを提供します。その他の安全機能には、火災抑制ユニット、緊急停止機能、原子炉の健康と性能を監視するための内蔵の監視装置などがあります。AKT AKT-4300は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)とユーザーフレンドリーなコントロールを備え、使いやすさを最大限に引き出すように設計されています。また、各アプリケーションの特定の要件に合わせてカスタマイズできるさまざまなパラメータ設定も提供しています。これにより、AMAT AKT-4300は、さまざまな業界での研究開発、プロトタイピング、生産用途に理想的な選択肢となります。
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