中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-55k #9237806 を販売中
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販売された
ID: 9237806
PECVD System
Generation: 8.5
Dual single slot loadlock (Loading, cooling, unloading)
Transfer chamber
(3) Process chamber
Master cluster controller
Remote support system:
RF Generator
Pump
Abatement
Heat exchanger
Remote plasma
Substrate size: 2200 mm x 2600 mm
(3) Susceptor: Temperature<230°C
(2) Loadlock: DSSL
Vacuum robot: Dual arm
(3) RPSC: MKS
(3) Abatement
EDWARDS Pumps:
(7) iH1800
(3) iF30K
RF Generator:
(3) 13-14MHz (15kW)
(4) 40MHz (4kW)
(3) Gas panels: NF3, Ar, SiH4, H2, PH3, B2H6
Loader: Manual loader.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-55k原子炉は、制御された原子炉の設定における様々な化合物の合成を容易にするように設計された工業グレードの原子炉室です。様々な反応結合物を混合して反応させて新しい化合物を形成する密閉容器であり、1,000°Cまでの温度を維持することができます。このチャンバーは、冷たい外壁、反応チャンバー、活性部品など、いくつかのモジュール化されたコンポーネントで構成されています。冷たい外壁は、ステンレス製の二重壁シェルで、ユニット全体の非反応型エンクロージャとして機能します。外殻の中に反応室があり、そこで反応プロセスが行われます。耐火性に優れ、最大55kg (kg)の材料を保持するように設計されています。原子炉活性部分は、ガス処理装置、温度制御装置、圧力制御装置、流体搬送装置で構成されています。ガスハンドリングツールは、必要な温度を生成する燃料源として天然ガスを使用し、温度制御アセットは温度を最適化して所望の反応条件を満たします。同様に、圧力制御モデルは原子炉内の圧力レベルを管理し、流体伝達装置は原子炉内に供給される材料を管理します。このシステムには、人員と機器の最適なパフォーマンスと安全性を確保するための一連の安全機能も装備されています。防爆の炎の防止装置は容器の中で爆発が起こることを防ぎます。反応が暴走した場合に余分な圧力を排出する圧力リリーフバルブもユニットに含まれています。反応性物質が危険な反応を引き起こすのを防ぐために、不活性ガス供給ラインも含まれています。この原子炉は、化学合成、冶金または化学プラント操作、石油化学精製、および新しい材料の試験および特性評価など、さまざまな用途に最適です。この手頃な価格のデバイスは、効率的で制御された性能を提供し、さまざまな産業事業に統合することができます。
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