中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-25K #293604834 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-25K
ID: 293604834
System.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25Kは、半導体生産プロセスで使用するために設計された高度で高性能な垂直プラズマ反応イオンエッチング(RIE)原子炉です。この高度なシステムは、クリーンで高品質なプロセスの均一性と重要な次元(CD)制御を提供することができます。生産歩留まりの向上とエッチング率の均一性の向上に最適化されています。AMAT AKT-25Kは、セラミック、金属、酸化物などの幅広い材料をサポートし、蒸気相や液体プロセスで使用することができます。このシステムは、アクセルコントロールとプロセスの堅牢性を備え、高速かつ正確に最適化されています。また、他のシステムやプロセスと容易に統合できるように設計されています。アプライドマテリアルズAKT-25Kの高速垂直アーキテクチャにより、最大4つのウェーハを並列処理できるプロセスチャンバーを備え、高スループットのアプリケーションをサポートできます。垂直レイアウトは、プロセスの均一性を維持し、ウェーハ間の衝突による損傷の可能性を低減するため、輸送時間を短縮します。AKT-25Kは高度な電源を使用しており、プロセスの品質と電力効率を最適化するために構成することができ、さまざまな材料や幅広いプロセスの正確な処理を可能にします。また、複数のガス制御システムが含まれているため、ユーザーは複数のプロセスを簡単に制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25Kは、接地断層、ガス漏れ、アーク検出などの安全機能を備え、プロセスの損傷から保護し、偶発的なクロスコミュニケーションを防ぎ、容易な統合を可能にするインターロックシステム、および自動ウェーハのアンロード保護を備えています。また、ユーザーフレンドリーなGUIを備えているため、複雑なプロセスレシピを迅速かつ簡単に設定および管理できます。全体として、AMAT AKT-25Kは半導体生産用に設計された先進的で高性能な原子炉です。最適化された電源およびガス制御システム、安全機能、およびユーザーフレンドリーなGUIにより、堅牢なプロセスを提供します。高度な垂直アーキテクチャにより、多種多様な材料を迅速かつ正確に処理でき、プロセススループット機能により、高スループットのアプリケーションに最適です。
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