中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #9196910 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600Aは、原子層蒸着（ALD）およびプラズマ強化化学蒸着（PECVD）用に設計されたハイエンドの研究開発炉です。このシングルウェーハリアクターは、わずか数ナノメートルの厚さの極薄膜を正確かつ制御可能に堆積させることができ、デバイス製造およびナノテクノロジー研究に最適です。AKT 1600Aのチャンバーは直径200mmで、50°C〜800°Cの温度範囲の基板、0。5〜200mTorrの圧力に対応できます。また、窒素、六フッ化硫黄、アルゴン/酸素など、さまざまな大気や流れにも対応しています。リアクターは使いやすさと簡単な校正のために設計されています。6つのサンプルリフト位置を持ち、サイドプロファイルを収集して分析することもできます。これらの機能を組み合わせることで、堆積率と均一性を正確に制御できます。AMAT 1600Aの電源は2.75kW RFジェネレータです。適用範囲のための力の非常に有効な源。このジェネレータは、1kHzから1MHzまでの幅広い動作周波数を提供します。ユーザーが周波数、電力、バイアスなどの設定を調整できる高度なソフトウェアを搭載しています。1600ALは、高度な温度制御と監視機能も提供しており、ユーザーは0。2°C以内に温度を設定および監視することができます。これは、望ましい結果を得るために非常に正確な温度を必要とするアプリケーションに最適です。最後に、APPLIED MATERIALS 1600Aには、チャンバー内の最高レベルの清浄度を維持するための自動洗浄システムが装備されています。このシステムは、原子炉の性能レベルが時間の経過とともに妥協しないようにするのに役立ちます。これらの機能のすべては、1600Aに今日の市場で最も人気があり、信頼性の高い研究開発炉の1つになります。この原子炉は、多くの先進的な材料研究およびデバイス製造アプリケーションに適した選択肢となっています。