中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293620423 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600Aは、薄膜材料の合成用に設計された高度なプラズマ強化化学蒸着炉です。この原子炉は、研究開発、生産、試作作業における薄膜蒸着プロセスに最適ないくつかの機能を備えています。AKT 1600Aは、プラズマガスをイオン化するためにRFとマイクロ波電力の両方を使用するプラズマ発生装置を備えており、プラズマエッチングの均一性を向上させます。このシステムは、プラズマパラメータを最適化しながら、原子炉のRF電源およびガス制御システムを構成する効率的な手段を提供します。また、高性能冷却ユニットにより優れた温度制御を実現し、プロセス温度の精密な調整が可能です。この原子炉にはソフトウェアベースの機械もあり、圧力、温度、RF電力レベルなどの動作パラメータを素早く簡単にプログラムできます。このツールは、重要なパラメータのリアルタイム監視と、プロセスの追跡と最適化を可能にするデータロギング機能を提供します。AMAT 1600Aは真空チャンバー、低圧プラズマ源、コントローラで構成されています。真空チャンバーは、材料加工に不活性な環境を提供し、均一性を高めるために陽極酸化チタンライナーを装備しています。低圧プラズマ源は、マイクロ波エネルギーを利用して、薄膜蒸着の均一性を提供する非常にエネルギッシュなプラズマを生成します。コントローラはプロセスパラメータを正確に制御することができ、所定の範囲内での動作を可能にし、最適な効率と結果を得ることができます。1600Aは、薄膜蒸着機能の強化が必要なユーザーに最適です。パワーと精度を兼ね備えたこの原子炉は、さまざまな材料や基板の加工に最適です。また、汎用性の高い設計と直感的な操作により、研究者、開発者、生産施設に最適です。