中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293615967 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600Aは、革新的で信頼性の高い垂直乾式エッチング炉です。プラズマエッチング、プラズマアッシング、カーボンフィルムエッチングなどのドライエッチング処理に使用され、シリコン（Si）、ガリウムヒ素（GaAs）、その他の化合物材料を含むさまざまな半導体材料に使用されます。この原子炉は、高い選択性と均一性を備えた高アスペクト比エッチングを行うように設計されています。AMAT/AKT 1600Aは、幅広いプロセス範囲、大きなプロセスチャンバー、高度なモーションコントロールとスピード、優れたパターニング機能など、重要な機能の組み合わせを提供します。この原子炉には、さまざまなエッチング工程でイオンビームを正確に制御できる高分解能の飛行時間エッチングが装備されています。高度なデジタル制御ロジックと複数の排気構成は、エッチング深さ、エッチング速度、および選択性の要件をカバーする幅広いプロセスを提供します。AMAT 1600Aは、優れたプロセス再現性と低コストの所有権を提供します。最新のDigital IGBT技術に基づいた内蔵のプログラマブルコントローラにより、プロセスパラメータの優れた制御が保証されます。また、Zステッピングモーターと先進的なモーションコントロール用のRotocageを備えています。オンボードコントローラには、エッチング速度、選択性、均一性を検証するための2ポイントテスト機能が搭載されています。APPLIED MATERIALS/1600Aリアクターは、優れた設計機能、性能、および費用対効果を提供します。様々な半導体材料の高精度加工を実現する業界トップクラスのエッチングリアクターです。パターニング、再現性、選択性に優れているため、半導体製造のエッチング作業に最適です。高度なデジタル制御ロジックと複数の排気構成により、イオンビームプロセスの最適化に最適です。要するに、アプライドマテリアルズ1600Aは、優れたエッチング性能、コスト効率、および優れたプロセス能力を提供するように設計された先進的な原子炉です。