中古 AMAT / APPLIED MATERIALS A600 #9315959 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS A600は、さまざまな半導体製造プロセスのための先進的なプラズマプロセスリアクターです。プロセスの信頼性と再現性の高い高生産性炉であり、大量製造（HVM）環境で使用されています。AMAT A600は、様々な層の薄膜の最も多様な構造を作り出すことができ、半導体製造に最適なツールです。アプライドマテリアルズA600はユニークなチャンバー設計で、オープンシャワーヘッドデザインとオープンプロセスコンセプトを可能にします。このチャンバー設計により、様々なプロセスモジュールを簡単に取り付けることができ、メンテナンスが容易で効率的なだけでなく、マルチソースPECVDやハードベークPECVDなどの最新のプロセスモジュールとの互換性を保証します。また、オープンシャワーヘッドデザインにより、ウエハ全体のフィルムの均一性を確保しています。A600プロセスリアクターには、高性能RFジェネレータと60MHzまでの周波数が含まれています。これにより、ソフトベークとハードベークの両方のプロセスの電力を正確に制御することができ、高い蒸着速度と高いアスペクト比プロセスの高いステップカバレッジを可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS A600は、1つのRFソースからなる独自のデュアル機器設計を備えており、ウェハ全体にわたって正確で公平なプロセス結果を保証します。AMAT A600は、その優れた利点のリストに加えて、チャンバー圧力を分析できるユニークなユニット機能を備えており、原子炉はプロセスの一貫性を向上させることができます。さらに、この機能を使用して外部漏洩の早期発生を監視することができ、状況の早期発見と修正を可能にします。結論として、アプライドマテリアルズA600は、さまざまな半導体製造プロセスに最適なソリューションです。高性能RFジェネレータやオープンシャワーヘッド設計、信頼性の高いプロセス制御および圧力分析機など、その先進的な機能はすべて、さまざまなプロセスで再現性と信頼性の高い結果を保証するように設計されています。これにより、A600はさまざまな半導体製品を製造するための優れたツールとなります。