中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9240-03211 #293648591 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211リアクターは、さまざまな半導体製造プロセス、特に化学蒸着（CVD）に最適な環境を提供するように設計されています。温度制御された真空チャンバーには、ステンレス製の周囲とベースプレート、アーク耐性石英窓、セラミック基板ホルダーが備わっています。チャンバーの内部容積は約25リットルで、真空範囲は1。0 x 10^-6 Torrです。チャンバーには、高速ポンプ式ターボ分子真空ポンプとTecator TM2500 Mass Flow Controllerが装備されており、ガスの流れを制御します。さらに、チャンバーには、自動開閉機能を備えた2つのロードロックと、フロントローディング用のウェハバスケットがあります。AMAT 9240-03211は、-12°Cと800°Cまでの低温が可能です。原子炉には、内部ミニシャワー、RFプラズマジェネレーター、および正確な温度制御のためのダブルループ冷却システムも装備されています。アプライドマテリアルズ9240-03211は、高品質の半導体デバイス構造を製造するための優れたツールです。それは精密なドーピングパターンが付いている金属のケイ化物、高い誘電率ゲートの誘電体および真空によって沈殿させる金属層を作り出すことができます。その精密な温度制御および窒化物蒸着の特徴は作り出される装置の構造そして構成の精密な制御を提供します。自動化された温度制御システムは、最大厚さの均一性と機能分解能を最適化するように設計されています。さらに、その急速なサイクル周波数と最小の熱応力は、高精度を提供します。9240-03211は直感的な制御システムを提供するタッチスクリーンインターフェイスとユーザーフレンドリーです。カスタマイズ可能なレシピ、多言語インターフェース、リモート操作機能が付属しています。AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211は、過圧インターロックやドライガス圧力スイッチなどの安全機能も備えています。さらに、原子炉にはイオン化された真空ゲージがあり、ユーザーに正確なチャンバー読み取りを提供し、エラー検出と予防メンテナンスのための診断ツールがあります。全体として、AMAT 9240-03211リアクターは、高品質で精密な半導体デバイス構造を製造するための優れたツールです。高度な温度制御と自動化されたプロセスにより、幅広いCVDプロセスに最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、カスタマイズ可能なレシピ、および半導体製造の精度と制御を向上させるさまざまな安全機能を提供します。