中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8130 #9364855 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8130は、3D NANDおよびその他の回路形成プロセスの処理に使用される高度で高性能で費用対効果の高い化学蒸着炉です。AMAT 8130は、垂直方向を使用して、直径200mmまでの基板上に均一に厚く均一に制御された層を堆積することができます。モジュラー、工具不可能設計により、アプライドマテリアルズ8130はさまざまな蒸着プロセスに使用できます。8130は、高速で信頼性の高い性能を提供する高度な機械設計で設計されたシングルウェーハリアクターです。機械設計により、迅速かつ簡単なメンテナンスと拡張されたプロセスウィンドウが可能です。大型のマルチゾーンローディング/アンローディングステーションは、温度、流量、圧力を厳密に制御して均一な蒸着を実現します。さらに、4つの独立したプロセス部屋があり、それぞれ630°CI/250°Cまで焼くことができる独自の発熱体があります。独立した発熱体は改善された基質プロセス均等性を可能にし、± 2°C。の均一な温度を維持するためにテストされました。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS 8130には、プロセス圧力の範囲を可能にし、効果的に反応性ガスを除去する高度な真空制御装置が装備されています。このシステムは、要求されるプロセス圧力を維持するデジタル圧力コントローラと、高速で信頼性が高く安定した真空を提供するターボ分子ポンプで構成され、反応性ガスの配送とプロセス制御の改善をもたらします。一体型モーションユニットは、原子炉のロボットインターフェイスによって制御され、基板の積み下ろしを自動化し、4つの反応チャンバ間の迅速かつ容易な移動を可能にします。さらに、統合されたモーションマシンはメンテナンスを簡素化し、ダウンタイムを削減します。また、基板の位置決めやプロセス温度を正確に制御できるため、プロセスの均一性が向上します。AMAT 8130は、高度で高性能で費用対効果の高い化学蒸着炉で、蒸着プロセスの均一性と性能を向上させるように設計されています。APPLIED MATERIALS 8130は、モジュラーでツールに依存しない設計により、3D NANDやその他の高度な集積回路の製造に使用されるさまざまな回路形成プロセスに使用できます。その統合された運動資産は、デジタル圧力コントローラとターボ分子ポンプとともに、原子炉にプロセス制御とより高い精度を付与します。± 2°Cの大気中で最大630°Cまで焼くことができるため、8130は高精度の蒸着プロセスに適しています。