中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9258176 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 7810は、薄膜材料の成膜に使用される蒸着炉の一種です。原子炉室には、アルゴン充填プラズマ源が搭載されており、クリーンで低温処理が可能です。この原子炉には電子サイクロトロン共鳴(ECR)源が搭載されており、他のタイプの蒸着システムで生成されるよりも高品質のコーティングを生成するのに役立ちます。この原子炉は、最新の技術と最先端の設計機能を備え、高効率に設計されています。このチャンバーは、直径200mmまでの複数のウエハサイズに対応できます。AMAT 7810はガスの流れ、総圧力、望ましいターゲット温度、基質の温度、源の力、バイアス力および暖房力を含む沈殿変数の広い範囲を提供します。これは、エレクトロニクス、エネルギー、光学、RF/ワイヤレス、生物医学分野のさまざまな用途における薄膜材料の生産にとって重要です。大きなチャンバーと高温機能により、大規模な堆積物を1回の実行で可能にします。また、パーソナルコンピュータベースのオペレータインターフェイスを備えており、セットアップと操作が容易です。システムには完全な材料ライブラリソフトウェアが含まれており、ユーザーは現在のプロセスに最適な堆積パラメータを選択することができます。このライブラリには、金属、磁気、半導体、誘電体、セラミックスなど、あらゆる種類の材料のデータが含まれています。APPLIED MATERIALS 7810は、乾式輸送ユニットを備えており、バッチ処理を可能にします。また、最大17ウェハの負荷とアンロードを可能にするロードロックとポンピングステーションを内蔵しています。この機械には、プロセス制御とガスの流れを簡素化するオートサンプラーが装備されています。7810は生産と研究の両方の要件を満たすように設計されています。部品の高可用性、操作の容易さ、沈殿物の精度と精度、および生産におけるツールの信頼性は、その利点のいくつかです。$AMAT/APPLIED MATERIALS 7810は、市場でトップクラスの薄膜蒸着システムの1つと考えられています。
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