中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9077262 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810は、幅広い用途でのプロセス能力を考慮して設計された先進的なCVDリアクタです。高度なプラズマ強化化学蒸着装置は、高度なデバイス技術のための非常に薄いフィルムの蒸着のための高収率、高性能プロセスツールです。AMAT 7810リアクターは、低消費電力コストで設計されており、低コストのパフォーマンス比を提供します。このシステムは、単一のウェーハまたはバッチプロセス、ならびに広範なin-situ計測システムとして構成することができます。シングルウェーハ静電チャックまたはマルチプロセスチャンバーを備え、高度なバッチ処理とシングルウェーハプロセスを可能にします。アプライドマテリアルズ7810リアクターには、プラズマエンハンスドCVD （PECVD）ソースを含む高度なプラズマソース技術も搭載しています。この技術により、温度、イオン濃度、イオンフラックス、フラックスプロファイルなどの成膜パラメータに対するプロセス制御が可能になります。7810基板ホルダーは、最大6つの12インチのシリコンウェーハを1つの負荷で保持し、ウェーハ回転装置と中央真空ポートを備えています。ウェーハ回転装置は、位置精度と精度を提供する統合コントローラに接続されており、蒸着中にウェーハを正確に配置することができます。リアクターは、プロセス中に一定のウェーハ温度を維持するために、クローズドループウェーハ温度制御ユニットと統合されています。AMAT/APPLIED MATERIALS 7810リアクターには、堆積プロセスのリアルタイム監視を提供できる高度なin-situ監視マシンがあります。統合されたクールダウン機能とin-situモニターにより、サイクルタイムとプロセスの最適化が迅速に行えます。AMAT 7810の高度なモニタリングおよび冷却機能は、蒸着速度と層厚さを正確に制御し、歩留まりの向上とプロセス結果の改善につながります。APPLIED MATERIALS 7810は、高度なツール機能に加えて、高度な安全およびメンテナンス制御システムも提供します。ガス圧力制御アセットは、安全性と正確性を保証し、その場で独自のクローズドループ圧力モニタにより、中断のない効率的な動作を保証します。7810にまた容易な維持および改善のためのモジュール設計があります。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS 7810は、幅広い用途に対応する優れたプロセス能力を備えた先進的なCVD炉です。高度な監視および冷却システム、低消費電力、正確なプロセス制御、低コストのパフォーマンス比により、AMAT 7810は先進的なデバイスおよび技術製造に最適です。