中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #293827237 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810リアクターは、大型シリコン基板に高品質の薄膜を堆積させるために設計された高性能な蒸着装置です。プラズマ強化化学蒸着（PECVD）を利用して、シリコン、石英、金属表面にSiO2、 SiCNなどの誘電材料の層を堆積させることができます。AMAT 7810は、原子レベルに近い精度で10nmの線幅を達成できます。システムは、高いレートで大量の材料を堆積するか、完全な均一性を持つ非常に薄い層を堆積するのに十分な柔軟性があります。アプライドマテリアルズ7810リアクターは、統合された処理チャンバとして構成され、独立して構成可能な3つのソースモジュールを備えた120立方センチメートルプロセスチャンバーが含まれています。ソースモジュールは、蒸着を誘導および制御するための反応性ガスのプラズマを提供します。この蒸着ユニットは、スパッタエッチング、開発、アニールにも使用できます。チャンバーは2つの異なる計測コンパートメントに分割され、それぞれに独立した制御パラメータが設定されています。7810はまた統合されたオンライン質量分析計を備えており、反応性ガス組成のより正確な制御を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS 7810リアクターは、放射ヒートシンクを使用して熱エネルギーを効率的に分散させ、RF偏向板を備えた平行プレート静電チャックを使用して平行基板を維持します。機械はステンレス鋼のフレームワークで囲まれ、滑らかで、一貫した真空操作を保証します。AMAT 7810リアクターは高出力密度であるため、高温でサイクル時間が短く、大型基板の成膜とエッチングが可能です。アプライドマテリアルズ7810リアクターは、最適化されたプロセスコントローラでパフォーマンスを向上させ、複数のレシピとプロセスシーケンスを迅速に設定できます。このツールは、ミクロンレベルの精度でプロセスパラメータを制御することができ、オペレータの介入を最小限に抑えて非常に高いスループットを達成することができます。全体として、7810リアクターは、半導体デバイス製造のための非常に強力で汎用性が高く、メンテナンス性が低く、費用対効果の高い成膜ツールです。その精度と機能により、フラットパネルディスプレイ、メモリデバイス、オプトエレクトロニクスコンポーネントなど、幅広い用途に最適です。