中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #9804 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP （Rapid Processing）リアクターは、急速な半導体ウェーハ処理に使用される革新的なバッチ型リアクタです。フロントエンドのウェーハ製造および製造プロセス開発用に設計されています。この装置は、1バッチあたり最大240 150mmまたは150 200mmのウェーハに対応する半自動の連続負荷カセット・ツー・カセット・プロセスを備えています。バッチローダー/アンローダー、炉、シャッター、クーラーなどの離散プロセスコンポーネントはモジュール構成可能で、ユーザーの正確なプロセス要件に合わせて組み合わせることができます。このシステムには、高度なウェーハ洗浄システムを含むAMATフルスイートのウェーハ処理ツールと、ウェーハのロード/アンロード時間を短縮する正確で高速なウェーハセンタリングユニットが装備されています。また、ウェーハクリーンの迅速な分析を可能にするin-situパーティクル測定機を備えています。AMAT 7810 RPは精密な温度制御および精密なプロセス制御のために設計されています。このツールは、PID制御機能を使用して、炉ゾーンに沿って一貫した温度プロファイルを提供し、反応剤の添加を正確に制御します。また、ウェーハ遷移時間を短縮し、スループットを向上させる急速加熱コントローラを備えています。高度な制御アセットは、自動的に保存され、プロセスの再現性と開発に使用できるプロセスパラメータ（温度およびリアクタント濃度）を提供します。このモデルはまた、包括的なリアルタイムデータトラッキングを提供し、プロセスエンジニアがプロセスを監視および調整できるようにします。APPLIED MATERIALS 7810 RPは、効率的かつ高収量の半導体加工に不可欠な先進的な加工ツールです。使いやすいインターフェイスと正確な制御により、大量および高品質のプロセス開発に最適です。