中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #69375 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RPリアクターは、各種材料の薄膜を基板上に堆積させるために使用される高度な化学蒸着（CVD）装置です。この原子炉は、金属、炭化物、フッ化物、窒化物、酸化物、複合半導体化合物などの材料の幅広いレパートリーで、高精度、生産品質の薄膜製造を容易にするように設計されています。AMAT 7810 RPリアクターの主な特徴は、操作とメンテナンスの容易さです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、レシピステップ、圧力制御、温度制御、マスフロー制御などのプロセスを簡素化する多数の自動化された機能が付属しています。さらに、このシステムは、基板汚染を最小限に抑えるin-situガスクリーニングユニットを備えています。アプライドマテリアルズ7810 RPリアクターは、柔軟なプロセスチャンバー設計により、優れた汎用性を提供します。ナノマテリアルや、インチからマイクロメートルまでの基板サイズなど、幅広い材料に対応できます。さらに、モジュラー設計により、個々のプロセスサイクル中にリアクターをアップグレードすることができ、プロセスの継続的な改善やラピッドプロトタイピングに適しています。この原子炉には、単一のチャンバプロセスマシンとデュアルチャンバプロセスツールという2つの独立した反応チャンバがあります。シングルチャンバープロセスアセットは単層蒸着用に設計され、デュアルチャンバープロセスモデルは多層構造の蒸着用に設計されています。どちらの構成でも、原子炉には大きなロードロックチャンバー、低圧ロードロックチャンバー、真空チャンバーがあります。この原子炉はまた、室温から1000°C以上の精密熱制御を提供します。7810 RPリアクターには、高感度温度、圧力、流量計が搭載されています。また、高度なPLCコントローラにより、精密で自動化されたプロセス制御が可能です。また、Enduraモニタリングソフトウェアを搭載しており、完全なデータロギングとレポート機能を備えており、ユーザーは進行中のプロセスを密接に監視できます。さらに、原子炉のモジュール設計は、熱抽出と熱回収オプションを提供し、プロセスの最適化とコスト削減を可能にします。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactorは、幅広い材料および基板構成を提供する信頼性の高い、ユーザーフレンドリーな薄膜蒸着システムです。高度な制御システムと自動化されたプロセスにより、オペレータの介入の必要性が低減されますが、その広範な監視機能により、ユーザーは進行中のプロセスを密接に追跡できます。また、モジュール設計と熱回収オプションにより柔軟性があり、高精度の薄膜加工に最適です。