中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7800 RPX #9258175 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPXリアクターは、最先端の研究および生産プロセスで使用するために設計された最先端の化学蒸着(CVD)装置です。大型基板やウェーハを製造するための最高のスループットソリューションであり、コーティングの均一性、結晶品質、信頼性の点で最高品質の結果を提供します。RPXは、廃棄物を最小限に抑えながら、高いスループットと高精度を実現することができるため、幅広い業界や用途に最適です。RPXリアクタは、省スペースのリアクタのレイアウトを作成するのに最適なシングルピースの石英エンクロージャを備えています。また、壁面曲率を低減し、均一なコーティングを保証する円筒形チャンバー設計を備えています。さらに、RPXリアクターには完全に自動化された入射スリット光学システムが含まれており、光源の正確なアライメントを可能にし、コーティングの均一性と精度を提供します。光源はキセノンランプに切り替えることができ、より幅広い材料でより高い沈着率を得ることができます。RPXリアクターには、最大限の精度と制御を可能にする多数の特殊な機能も含まれています。これらには、リアクタントの流れを正確に制御できるフローバランシングユニットと、20°C〜500°Cの調節可能な温度範囲が含まれます。さらに、RPXリアクターは、リモートで見ることができるリアルタイムデータ監視を含む高度なプロセスモニタリングを備えています。RPXリアクターには、人員と機器の保護を保証するいくつかの高度な安全機能もあります。例えば、RPXリアクターにはオンボードガスリーク検出器とクローズドループ酸素モニタリングマシンがあり、さらなる保護層を提供します。さらに、RPXリアクタには、アラーム状態が発生した場合の自動アラートとシャットダウンのためのツールが含まれています。全体として、AMAT 7800 RPXリアクターは、高度な研究および生産プロセスに最適なソリューションです。これは、最高のスループットと最高品質の結果を提供する非常に正確で信頼性の高い資産です。インシデントスリット光学モデル、フローバランシング装置、および調整可能な温度範囲などのさまざまな機能により、ユーザーは蒸着プロセスの最大限の制御と精度を提供します。さらに、RPXリアクターには、人員と機器の保護を確保するためのいくつかの安全機能が含まれています。これにより、RPX炉は幅広い産業や用途に最適な選択肢です。
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