中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9269447 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700リアクターは、先進的な半導体用に薄膜を堆積させるための高精度、複数チャンバーツールです。これは、複数のプロセス技術と複数のスパッタ基板をサポートしています。この装置は、正確で効率的で反復可能な処理を提供します。用途としては、PVD（物理蒸着）、CVD（化学蒸着）、LPCVD（低圧化学蒸着）、MOCVD（金属有機化学蒸着）、原子層蒸着（ALD）などがあります。高度なプロセスモジュールを使用して、パフォーマンスを向上させ、余分なプロセス機能にアクセスします。カメラベースの計測およびトンネリング顕微鏡モジュールは、高度なナノスケール蒸着プロセスの完全性を保証します。また、システム内で複数の異なるスパッタリングターゲットを使用し、最大4つの共同スパッタプロセスをサポートできます。AMAT 7700リアクタは、小型ウェハから大型基板まで、さまざまな基板サイズと形状を処理できます。このユニットは、複数の基板ローディングおよびアンロード方法もサポートしています。コア機能を備えたアドオングローブボックスは、優れたプロセスの再現性と安全性を保証します。AMAT PVDプロセス管理（AMPM）パッケージとの互換性により、低コストのプロセス開発と生産のためのより高いレベルの制御を実現します。強力なソフトウェアコントロールと統合して、オンボードスケジューリングとジョブトラッキング、プロセスレコーディングとレポート、およびリモート診断サポートを可能にします。このツールは、操作とメンテナンスの全体的な負担が少ないように設計されています。これは、再現性の高い高性能を確保するために、確立され、よく認識されたプロセスモジュール技術の組み込み補償を使用しています。この原子炉は、迅速な応答と高速安定化のためのパルス幅変調された電源を備えています。また、正確な温度制御を提供します。分極およびエッチング操作の広いセットがあり、複数のレイヤーとプロセスステップを構成できます。アセットはまた、プロセス監視のための多数の物理的および化学的センサーをサポートしています。アプライドマテリアルズ7700リアクターは、MEMSデバイス製造、フォトニックおよびオプトエレクトロニクス材料の堆積、MEMSディスプレイ、センサ、超小型化などの先進的な半導体およびナノテクノロジー用途に最適なツールです。これは、幅広い業界の薄膜製造ニーズに対応する信頼性の高いソリューションです。