中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9095979 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700は、半導体プラズマプロセス用に設計された原子炉です。AMAT 7700は、AMATが特許を取得したHiCap PowerおよびMultimodeソースを使用して、ウェハ基板全体で最高レベルの均一性とプラズマエッチング率を提供します。APPLIED MATERIALS 7700独自のクロスオーバー機能により、2つの電源間を途切れることなく遷移でき、シームレスなプロセスサイクルと優れたプロセス安定性を実現します。7700はエッチング、酸化物蒸着、窒化物蒸着、凝縮などの処理が可能です。チャンバーのサイズと材料の広い範囲は、さまざまなアプリケーションに適しています。ソースチャンバーには、高精度プラズマ処理のための強化された均一性制御と、低K成膜のための最も効率的で効果的なプラズマエッチング処理も備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS 7700は、安定した信頼性の高いプラズマ生成と制御を保証する高出力RFアンプを備えています。また、高度なプラズマ監視システムを使用して、プラズマ密度とエッチング速度の正確なバランスを維持し、優れたプロセス制御を実現しています。AMAT 7700の優れた性能は、高度な診断および診断分析機能によって補完されています。in situ diagnostics解析により、ユーザーはプラズマ種、イオンエネルギー分布、およびプロセス時間を正確に追跡できます。さらに、高度な光放射分光診断診断により、プラズマ中の不純物の存在を迅速に分析することができ、プロセスの最適化を迅速に行うことができます。APPLIED MATERIALS 7700の耐久性と安全性も、安全で効率的な処理環境を確保します。高度な安全/故障/クエンチ機能により、高温サイクリングおよび潜在的なアークからチャンバを保護し、システムを予期せぬ損傷から保護する緊急シャットダウンシステムを備えています。全体として、7700リアクターは、半導体プラズマ処理のための強力で信頼性の高いツールです。その強力なソースとRFアンプと高度な光放射分光診断機能は、業界最高レベルのエッチング速度、均一性、精度を提供します。さらに、独自のクロスオーバー機能とプロセス安全機能により、エッチング、蒸着、凝縮プロセスに最適です。