中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9069031 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 7700
ID: 9069031
Epitaxial reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7700リアクターは、さまざまな研究および製造アプリケーション向けに設計された高度な化学蒸着(CVD)装置です。AMAT 7700リアクターは、独自のガスフロー水晶反応チャンバーにより、最大150mmの基板および1200°Cまでの温度で超薄膜を効率的に蒸着することができます。この装置は、蒸着中の優れた均一性と最小限のドリフトを提供し、最大の効率のためのデスクトップ制御オートメーションが可能です。APPLIED MATERIALS 7700リアクターは、クローズドループ、非乱流室で設計されており、フィルム成長の優れた制御を可能にします。反応室は不活性であり、反応剤や製品の排出と凝縮を最小限に抑えるのに役立つ石英でできています。このシステムには、外部圧力制御、ガス混合、および統合された真空ユニットも装備されています。真空機械は、反応チャンバー内の低イオン含有量で乱流のない動作を保証します。統合されたガスブレンドツールにより、リアクタント比を正確に制御することができ、フィルムのストイキオメトリーと高い蒸着スループットを正確に制御することができます。7700リアクターは完全に自動化され、デスクトップユーザーインターフェイスを介して制御されます。この制御アセットは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、信頼性の高いプログラマブルなロジックコントローラ(PLC)を備えています。この装置には、故障時の自動シャットダウンや反応室内の高圧など、いくつかの安全機能が含まれています。このモデルはまた、温度、圧力、およびチャンバーの流れを正確に制御するフィードバックセンサーの完全な補完を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS 7700リアクターは、優れた均一性と高スループットを備えた薄膜成膜に最適な装置です。その精度と再現性により、あらゆる種類の研究および製造アプリケーションに適しています。クローズドループチャンバーと自動制御装置を備えたAMAT 7700リアクターは、研究や生産プロセスを次のレベルに引き上げるのに最適なツールです。
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