中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 7600 #293827238 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 7600
ID: 293827238
Epitaxy reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7600は、集積回路やその他の半導体デバイスの製造に使用される半導体製造ツールです。AMAT 7600は「クラスタ型」のリアクターで、プレクリーン、基板搬送、ポストクリーンなどの様々なプロセスユニットを単一のクローズドエクスポージャーに組み合わせて構成します。APPLIED MATERIALS 7600は、基板を積載するための上部に窓を備えた円筒型の原子炉水晶チャンバーを備えています。このチャンバーには、特定の温度で基板を維持するための高温ホットプレートとガスインジェクタが装備されています。真空ポンプは、処理前にチャンバーを避難させ、副産物をきれいにするために使用されます。圧力は一貫した熱処理の結果を保障するために部屋で調整されます。7600リアクターには2つの異なる動作モードがあります。シングルリアクタモードでは、1つのリアクタ内で1バッチの基板が同時に処理されます。シンプルなデバイス構造の製作に最適です。複数のリアクタ・モードでは、1つのクラスタ構成で最大8個の独立したリアクタを使用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS 7600は、操作と制御のためのコンピューター制御インターフェースを備えています。このソフトウェアは、データ入力、プロセス監視、および品質管理を提供します。このソフトウェアは、他の処理機器とのバッチ・バッチ・バッチ統合を自動化し、特定の半導体デバイスの種類やプロセス要件に合わせてプログラム可能なカスタマイズを可能にします。AMAT 7600の柔軟性、信頼性、自動化により、幅広い半導体プロセスのニーズに最適なプラットフォームです。クラスタ型リアクタ構成により、高いスループット、精度、再現性を実現します。システムは信頼性が高く、自動化により、安定したプロセス条件と再現性のある結果が保証されます。さらに、コンピュータインターフェイスは効率的なジョブトラッキングとデータ管理を提供します。したがって、アプライドマテリアルズ7600は、半導体デバイスの製造に広く使用され、さまざまな処理ステップを1つのユニットに統合する効率的で信頼性の高いツールです。その柔軟性と精度により、高品質で再現性のある結果が得られます。
まだレビューはありません