中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 401493LCM1 #9384031 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 401493LCM1は、ガス、液体、および/または固体相の特定の種の濃度を高めるように設計された固定金属チャンバーです。それは外の鋼鉄円筒形のハウジング、4つのステンレス鋼の反作用の管、および陶磁器の管から成っています、酸素なしの、熱い地帯の大気の中にすべて含まれています。約7フィートの高さのチャンバーは、2つの温度および圧力制御ホットゾーン、プロセスガスを監視するための熱伝導検出器（TCD）、およびプロセスフローを制御するためのマスフローコントローラ（MFC）に接続されています。ステンレス製の反応チューブは、円筒形ハウジング内に吊り下げられ、不活性セラミックが並んでいます。セラミックラインチューブは、汚染を低減し、ホットゾーン温度の不要な変動を修正します。セラミックチューブの壁に埋め込まれたヒーターは、均一な真空とチャンバー温度を維持するのに役立ちます。AMAT 401493LCM1は、チャンバーと加熱ゾーン間のインタフェースを利用して、プロセスガスの注入を可能にします。プロセスガスはチャンバー全体に均等に分布し、同種の均一な濃度を確保します。加熱されたゾーンはそれぞれ700Cまで温度を達成し、TCDによって操作されます。MFCは個々の入口コントローラを介してプロセスガスを調節し、プロセスガスの圧力は10〜15psiの範囲内で一定に保たれます。応用材料401493LCM1は、耐食性と耐酸化性のある材料で構成されているため、幅広い連続蒸着プロセスに有利で信頼性の高い原子炉です。タイプ304ステンレス鋼は効率的に維持された保護大気を提供する反作用の管の内部を並べます。そして部屋は15 PSIGまでの圧力定格と望ましいプロダクト出力を保障するように設計されています。全体として、401493LCM1は直径3インチの高効率な原子炉で、原子炉の性能を向上させ、製品の品質を向上させるように設計されています。ハードマスク、薄膜、多層金型、メタライゼーション、その他の幅広い関連技術の堆積に最適です。この原子炉はメンテナンスが簡単で、ダウンタイムを削減し、より反応性が高く、生産性が高く、費用対効果の高い製造プロセスを可能にします。