中古 AMAT / APPLIED MATERIALS (4) AE Minos chamber for Centura DPS II #293667189 を販売中

AMAT （4） Centura DPS II用AE Minosチャンバーは、さまざまな蒸着プロセスに優れた性能と信頼性を提供する専用の原子炉です。AE Minosは、誘電体薄膜、金属蒸着、その他の低圧化学蒸着技術などの集積回路生産におけるアプリケーションに最適なシステムです。最新のソフトウェア、効率的な操作、および時間節約のオートメーション技術を備えた使いやすいシステムです。リアクタは、事前にプログラムされたスクリプトと「Set and Forget」レシピの実行を組み合わせて、一貫性のある再現可能な結果を保証します。AE Minosは、最大直径40cmの大きなプロセス領域を持ち、より大きなウェーハを処理し、生産スループットを最大化するように設計されています。その統合されたプロセスチャンバーは、高品質の製品を維持しながら、究極の柔軟性のために最大4つの追加ソースと1つのソースをカップルすることができ、± 2°Cの許容範囲内でプロセスを維持するための高速動作PIDコントローラを装備しています。また、先進的なアクティブエグゾースト管理機能を搭載しており、外部環境への排出率が非常に低くなります。AE Minosは、タッチスクリーン制御とUSBインターフェースを備え、設定とメンテナンスが簡単です。その高度なロボット制御ウェーハカルーセルは、低レベルの人間の介入を可能にし、自動化された誤動作の検出は歩留まりを最大化し、手動操作に関連するエラーを排除します。この設計により、メンテナンスフリーのパフォーマンスが保証され、さまざまな安全機能により、リスクから人員やプロセスチャンバー自体に至るまでの動作環境が保証されます。Centura DPS IIとの互換性により、既存の製造環境に効率的に統合できます。AE Minosは、優れた性能、信頼性、およびスループットを提供する、集積回路生産のための信頼性の高い、使いやすい原子炉です。高度なPID制御、アクティブな排気管理機能、直感的なタッチスクリーン制御を備えた設計により、半導体の蒸着プロセスに最適なシステムです。