中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380521 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、AKTによって設計および製造されたシングルウェーハ、低圧化学蒸着（LPCVD）原子炉です。シリコンウェーハ表面に酸化ケイ素や窒化物などの多層薄膜を堆積させるために使用されます。装置は、ガスライン/バルブ部品とプロセスチャンバーの2つの主要な部品で構成されています。ガスライン/バルブコンポーネントは、システムへのプロセスガスの流れを管理するのに役立つ重要なセンサー、バルブ、および制御で構成されています。ステンレス製のプロセスチャンバーには、独立した電源制御を備えた2つの電子ビーム源、1つのRF電源、およびチャンバー全体の温度制御が含まれています。AKT 3500は、プロセス室温範囲が120°C〜900°Cで、大気圧または低圧での動作が可能です。ウエハサイズは直径8インチまでで、最大工程負荷は7ポンドです。さらに、特定の蒸着オーバーヘッドを処理するように設計されており、最大80 W/in2で動作します。Ethernet、 RS-232、リモートアクセス用のRS-485など、さまざまなデータ通信プロトコルを備えています。AMAT AKT-3500には高精度のプラズマ洗浄機能があり、揮発性粒子を分離して輸送することで、プロセスによる汚染を低減します。JEDECは、DRAM、フラッシュメモリ、ロジックなどの高性能アプリケーション向けに、信頼性と再現性の高い蒸着プロセスを作成するためのJEDECルールに従うように設計されています。また、インターロック、地上障害割り込み、アラームなど、幅広い安全機能を備えています。全体的に、APPLIED MATERIALS 3500は精密で一貫した結果を生み出すように設計された先進的な原子炉。これは厳格にテストされ、本番環境で最適に動作することが証明されています。その機能とモダンなデザインは、高品質で信頼性の高い結果を必要とするアプリケーションに最適です。