中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380520 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、水系媒体内の大型エッチング構造をエッチングするために特別に設計されたシングルウェーハスピンエッチング炉です。原子炉は、複雑なパターンと正確なフィーチャー形状を生成することができます。AKT 3500は、エッチング構造の小型および大型のエッチング、およびハイスループットの均一なエッチング用途に最適化されています。これには、正と負の両方のフォトレジスト機能とマイクロチャネル構造を備えた設計が含まれます。AMAT AKT-3500のユニークなデザインは、堅牢で反復可能な均一で一貫したエッチング結果を可能にします。エッチング速度と選択性、正確なフィーチャー定義と深度制御を大幅に制御できます。また、エッチング工程での電子ビームマスクエッジ定義や基板温度制御にも優れています。原子炉は、エッチング剤として酸ベースの溶液を使用しています。これは、希釈HClの水溶液から、より複雑な溶液までさまざまです。エッチング処理は、基板にフォトレジストを適用して開始され、その後、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500のプラテンに回転されます。これは、数秒間高強度紫外線にさらされ、フォトレジストが基板に付着することができます。次に、エッチング剤をプラテンに追加し、ウェーハをこの溶液で一定期間回転させます。この期間中、エチャントはフォトレジストと反応し、基板上の望ましい地形を開発します。所望のプロセスステップが完了すると、プラテンはDI水で洗浄され、基板は乾燥して回転します。その後、乾燥フォトレジストを除去し、目的の結果を基板に検査します。全体のプロセスは非常に簡単で、オペレータの介入を最小限に抑えて完了することができます。AKT AKT-3500リアクタは、さまざまな基板上の機能をエッチングするための優れたツールです。精密かつ一貫したエッチング時間を提供し、高い再現性で高精度な結果を得ることができます。エッチング濃度を変更し、プロセスパラメータを調整する機能により、異なる厚さの異なる材料をエッチングすることができ、エッチングに最適な汎用性の高いツールです。