中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380518 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500はイオン注入プロセス用に設計された高精度プラズマリアクター装置です。これは、線量と現在の分布の正確な制御を可能にするプログラム可能な計画システムを備えています。半導体ウェーハの加工には半導体業界で広く使用されています。AKT 3500は、電源、プラズマ源、真空チャンバーから構成されています。電源はプラズマ源の電源を制御する責任があります。プロセスに供給される電力量を調整するようにプログラムすることができます。プラズマ源は、電源によってイオン化された高エネルギーのプラズマを生成します。この結果、イオン化された粒子の電流が発生し、処理される材料にイオンを埋め込むことができます。真空チャンバーは、プロセスが発生する密閉された、エアタイトコンテナです。処理する材料をチャンバーに置き、イオンの注入を容易にするために所望の温度に加熱します。注入プロセスは通常、10-6 Torrの真空を必要とします。この圧力が達成されると、電源が作動し、イオン化プロセスが開始されます。粒子は機械を介して加速され、材料に衝撃を与え、望ましい元素が埋め込まれます。AMAT AKT-3500のプログラム可能なプランニングツールにより、プロセスを正確に制御できます。電流密度や用量などのパラメータは、目的の結果を定義するためにプログラムすることができます。このアセットには、最大4つの別々の処理チャネルが装備されており、それぞれに独自のチャンバーがあり、複数のウェーハまたは基板を同時に処理することができます。AMAT 3500は、さまざまな産業用途で使用できる効率的で正確な原子炉モデルです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されており、イオン注入プロセス中の線量と電流を正確に制御します。これにより、注入プロセスを特定のお客様の要件に合わせて調整し、プロセスの均一性を確保することができます。この装置は、半導体ウェーハ加工において非常に貴重なツールであり、業界で広く使用されています。